同频于精密制程，测试载气微水｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini

只有频率相同的人，才能理解你的万里山河。慢慢走，好好沉淀，守住心中的山川日月。请相信，频率相同的人，翻山越岭也会向你奔赴而来。唯有同频，方能共振；唯有懂你，方能看见你的万里山河。同频于精密制程，测试载气微水｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini

精密的半导体制程，同样需要同频匹配的检测方案。氩气作为半导体生产里常用的载气，广泛应用在刻蚀、薄膜沉积等关键工序中。制程对环境干燥度有着严苛要求，载气中潜藏的微量水汽，容易引发薄膜生长异常、表面氧化、图案缺陷等问题，干扰工艺稳定性。持续开展氩气等载气的露点抽检，维持晶圆制造所需的超干燥工艺环境，有助于减少异常缺陷，稳定生产良率，是半导体品质管控中不可忽视的一环。进口露点仪、进口露点仪、进口露点仪

不少半导体工厂在开展氩气载气露点抽检工作时，会选用进口露点仪品牌英国肖氏 SHAW 便携式露点仪SDHmini。

便携式露点仪SDHmini是一款微处理器控制、电池驱动的露点湿度仪，搭载成熟技术，功能配置丰富，支持 USB 与 PC 通讯。整机为一体化独立单元，集成湿度传感器、信号调节电路、内存管理模块、图形显示屏、薄膜键盘、计时模块、锂电池与充电电路，开箱即可投入现场检测。

便携式露点仪SDHmini 图形交互界面设置三类浏览页面：数字读数页面、趋势图形页面，可滚动回看历史读数，还有模拟仪表页面；右上角配备副显示区，支持切换不同计量单位展示测量结果。便携式露点仪SDHmini 内置十种操作语言，覆盖英语、德语、法语、西班牙语、葡萄牙语、俄语、意大利语、汉语、日语、韩语，适配不同操作人员使用习惯。

便携式露点仪SDHmini搭载 320×240 分辨率全彩图形夜视显示屏，6 键操作布局，含独立电源开关键。主显示屏与副显示屏的湿度单位均可自主切换，可选℃、°F、ppm (v)、ppm (w)、lbs/MMscf 等多种单位。进口露点仪、进口露点仪、进口露点仪

便携式露点仪SDHmini配套易用的软件操作界面，多级菜单、热键组合、信息弹窗与控制功能，方便调试各项参数。使用配套 USB 数据线连接仪器与电脑，即可自动建立通讯连接： 同频于精密制程，测试载气微水｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini

- 接入电脑或适配电源时，可在安全区域为锂离子电池充电；

- 支持下载更新仪器固件；进口露点仪、进口露点仪进口露点仪、进口露点仪进口露点仪进口露点仪

- 依托配套 PC 软件，读取存储记录文件、同步采集实时测量数据。

便携式露点仪SDHmini视图面板集合仪器各类功能、参数设置与信息页面。机身搭载微型 SD 卡，点击视图面板左下角 SD 卡图标，即可查阅卡内存储资料，包含电子版用户手册、服务说明、校准数据表、固件备份等资料，方便现场查阅与资料留存。

进口露点仪品牌英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini提供多种测量范围，用户可结合现场工况按需选择。

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- 传感元件：SHAW肖氏超高电容氧化铝传感器

- 高速测量干燥组件：干燥腔

- 仪器精度：± 2℃

- 重复性：优于 ± 0.3℃

- 分辨率：0.1℃露点或 0.1ppm (v)

- 自动校准：支持现场校准、电子跨度检查，依照菜单指引即可完成操作

- 采样条件：推荐采样流量 2-5L/min， 10L/min

- 响应时间：潮湿转干燥（-10℃ ~ -60℃）＜120s；干燥转潮湿（-100℃ ~ -20℃）＜20s

- 显示：全彩色 LCD 大屏幕，分辨率 320*240（24bits）

- 供电电源：可充电锂电池，配套充电器

- 电池续航：两次充电间隔可达 150h

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- 充电时间：12h

- 用户可选单位：℃、°F、ppm (v)、ppm (w)、g/m³、lbs/MMscf

- 尺寸重量：97mm（宽）*147mm（深）*211mm（高）、主机重约 1.75kg

- 操作压力：0.3bar   便携式露点仪SDHmini、便携式露点仪SDHmini、便携式露点仪SDHmini

- 外部操作湿度： 95% RH，无冷凝

- 操作温度：-20℃~+50℃

- 保存温度：-30℃~+70℃

- 防护等级：IP66/NEMA 4X

与精密制程同频，以稳定可靠的检测能力测试载气之中微量水汽，为晶圆生产筑牢干燥防线。

更多同频于精密制程，测试载气微水｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini请咨询英肖仪器仪表（上海）有限公司，是进口露点仪英国肖氏 SHAW 露点仪中国总代理，全权负责品牌在中国区域（含香港、台湾省）的全部业务，可为氢能、空分、石化、锂电、制药等行业提供产品供货、技术选型、售后及配套服务支持。>除SDHmini便携式露点仪外，我们同时可提供 Superdew3-WP 在线露点仪、乙烯露点仪、进口冷镜露点仪、Superdew3在线露点仪、便携式露点仪SADP、露点仪传感器 SE-B、露点仪传感器SE-P、SF6露点仪等检测设备，覆盖不同行业的气体水分、残氧检测需求。进口露点仪、进口残氧仪、乙烯露点仪、进口冷镜露点仪、露点仪批发SDHmini-EX 、便携式露点仪SDHmini、露点仪、肖氏露点仪。