高纯氮控湿护航晶圆制程｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini在半导体载气检测中的应用
在半导体晶圆制造流程中，高纯氮气是应用广泛的工艺载气、吹扫气与保护气，广泛用于刻蚀、沉积、晶圆传送腔吹扫、腔体置换等工序，工艺环境对水汽含量有着严苛的管控要求。高纯氮控湿护航晶圆制程｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini在半导体载气检测中的应用
水汽属于半导体工艺里需要重点管控的杂质组分。如果高纯氮气载气内水分含量偏高，多余水汽进入工艺腔体，会和腔体内特种工艺气体、前驱体材料发生反应，容易在晶圆表面形成氧化层、颗粒物以及微量杂质污染，影响薄膜均匀度、线路形貌，增加芯片良品管控压力。同时，持续存在的水汽还会对腔体内精密部件、石英件、静电吸盘等造成缓慢影响，加快部件老化，提升设备维护频次。
从气源钢瓶、气柜、管路分配单元到机台进气端，气体管线长、点位分散，即便配置在线监测设备，也需要便携式仪器做不定期抽检复核。通过对高纯氮气载气开展露点取样检测，可以跟踪气源品质变化、管路接头渗漏、吸附干燥单元的运行状态，及时发现水分异常，配合供气系统运维调整，维持超干燥的工艺环境，降低水汽带来的制程波动，为晶圆稳定生产提供保障。在半导体厂区高纯氮气载气露点抽检场景中，企业选用进口露点仪品牌英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini。高纯氮控湿护航晶圆制程｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini在半导体载气检测中的应用
便携式露点仪SDHmini是一款基于微控制器开发的电池驱动型露点湿度仪，搭载成熟技术与多项增强功能，支持 USB 与 PC 端通信。便携式露点仪SDHmini整机为一体化独立设备，集成湿度传感器、信号调理电路、存储管理模块、图形显示屏、薄膜键盘、计时模块、内置电池及充电电路。高纯氮控湿护航晶圆制程｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini在半导体载气检测中的应用
便携式露点仪SDHmini图形交互界面包含三类常用浏览画面：数字显示画面、带历史读数滚动曲线的图形画面、模拟仪表画面；便携式露点仪SDHmini右上角还设有副显示窗口，可切换不同测量单位展示检测数值。便携式露点仪SDHmini内置十种语言，涵盖英语、德语、法语、西班牙语、葡萄牙语、俄语、意大利语、汉语、日语、韩语，适配不同操作人员使用习惯。便携式露点仪SDHmini配备 320×240 分辨率全彩图形夜光显示屏，6 键操作面板，包含电源开关按键。
便携式露点仪SDHmini主、副显示窗口的测量单位支持自主切换，可选湿度单位包含℃、°F、ppm (v)、ppm (w)、lbs/MMscf 等。便携式露点仪SDHmini设置可在简易友好的软件界面内调整，内设多级菜单、热键组合、信息展示与控制功能。使用配套 USB 数据线连接仪器与电脑，即可实现 USB 自动连通。高纯氮控湿护航晶圆制程｜英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini在半导体载气检测中的应用
- 接入电脑或专用电源时，可在安全区域为锂电池充电
- 支持仪器固件更新
- 可通过配套 PC 软件读取存储记录、下载日志文件，查看实时检测数据
便携式露点仪SDHmini视图面板可以快速调取仪器各项功能、设置与信息页面。SDHmini便携式露点仪搭载微型 SD 卡，点击视图面板左下角 SD 卡图标，即可查看卡内资料，包含用户手册、服务说明、校准数据表、固件备份等内容。
进口露点仪品牌英国肖氏SHAW便携式露点仪SDHmini系列设有多种测量范围，用户可以结合自身工艺工况挑选适配量程。
传感元件采用肖氏高稳定性氧化铝传感器，配置高速测量干燥组件干燥腔。
- 便携式露点仪SDHmini精度：±2℃
- 重复性：优于 ±0.3℃
- 分辨率：0.1℃露点或 0.1ppm (v)
- 自动校准：支持现场校准、电子跨度校验，依照菜单指引即可完成操作
- 采样流量：推荐采样流量 2-5L/min，可达 10L/min
- 响应速度：湿转干（-10℃ ~ -60℃）＜120s；干转湿（-100℃ ~ -20℃）＜20s
- 显示：全彩色 LCD 大屏，320*240（24bits）
- 供电：可充电锂电池，配套充电器
- 电池续航：便携式露点仪SDHmini满电状态下可支持约 150 小时使用
- 充电时长：约 12h
- 可选单位：℃、°F、ppm (v)、ppm (w)、g/m³、lbs/MMscf
- 外形与重量：宽 97mm× 深 147mm× 高 211mm，主机重量约 1.75kg
- 操作压力：0.3bar
- 外部使用湿度： 95% RH，无冷凝
- 操作温度：-20℃～+50℃
- 存储温度：-30℃～+70℃
- 防护等级：IP66/NEMA 4X
半导体载气的水分管控贯穿供气全链路，多点位、常态化的露点抽检，是在线监测之外有效的补充管控手段。英国肖氏 SHAW便携式露点仪SDHmini，兼顾便携续航、丰富的数据存储导出能力与可靠的检测表现，适配半导体厂房内气源、分配管路、机台前端等点位的高纯氮气取样检测，助力企业稳定管控载气含水量，减少水汽对芯片制程带来的干扰。
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