英国SHAW SDHmini：半导体洁净室微量水分检测的精准利器

在半导体与电子制造领域，洁净室环境中的每一个微量水分子都可能成为芯片生产的"隐形杀手"。超纯气体和高纯氮气中若残留过量水分，极易导致芯片表面氧化、电路腐蚀，进而引发产品缺陷，造成巨大的经济损失。如何在洁净室中快速、准确地检测超纯气体和氮气中的微量水分，成为半导体企业品控环节的核心需求。英国SHAW公司推出的SDHmini便携式露点仪，凭借其高精度与强适应性，成为这一场景下的理想检测工具。

轻便坚固，深入洁净室现场

半导体洁净室对设备的体积、重量和洁净度都有严格要求。SDHmini整机重量不到1.75kg，外壳达到IP66/NEMA 4X防护等级，可在－20℃至＋50℃的环境中稳定运行，轻松适应千级甚至百级洁净室的苛刻条件。内置可充电锂电池支持连续150小时操作，充电仅需12小时，满足多班次连续巡检的续航需求，减少因充电造成的检测中断。

高精度测量，守护芯片品质

半导体制造对气体纯度要求极高，露点通常需控制在－80℃以下。SDHmini搭载肖氏超高电容氧化铝传感器，测量范围覆盖－100℃至＋20℃露点，分辨率达0.1℃露点或0.1ppm(v)，准确度为±2℃露点，重复性优于±0.3℃露点。针对超纯气体检测需求，用户可选择紫色型号（－100～0℃露点，0～6,000ppm(v)）或银色型号（－100～－20℃露点，0～1,000ppm(v)），精准覆盖低露点检测场景。同时支持℃、ppm(v)、ppm(w)、g/m³、lbs/MMscf等多种单位切换，方便直接对照SEMI等行业标准进行判定。

自动校准，即测即用不停机

洁净室检测时间窗口紧张，传统露点仪需携带标准气体到现场校准，流程繁琐且可能引入污染。SDHmini独有的AutoCal自动校准技术，只需将传感器短暂暴露于环境空气中即可完成校准，无需任何标准气体或专业技术人员，大幅降低了校准成本与停机时间，让检测人员在任何洁净室站点都能快速获得可靠数据。

数据可追溯，助力良率提升

半导体行业对生产数据的完整性要求极高。SDHmini可实时记录多达300,000个数据点，支持通过USB或蓝牙传输至PC并打印。用户可为多达20个独立位置设置ID，方便对不同气体管路、不同机台的检测数据进行分类归档，为洁净室气体质量管理和良率分析提供完整的数据支撑。

从超纯气体验收到日常巡检，英国SHAW SDHmini以其精准、耐用、易用的特性，为半导体洁净室的微量水分监控提供了值得信赖的检测方案，助力企业守护芯片品质与生产良率