英国SHAW在线露点仪Superdew 3：半导体超纯气体系统的“水分克星”

在半导体制造领域，超纯气体是刻蚀、沉积、清洗等核心工艺的“血液”。然而，即使微量水分（ppb级）也会在晶圆表面形成氧化层或水解污染物，导致良品率骤降。英国SHAW公司推出的英国SHAW在线露点仪Superdew 3在线露点仪搭配SU4型样品调节装置，以±2°C高精度、低温检测能力及抗污染设计，成为半导体行业超纯气体湿度控制的“**解决方案”，为5nm及以下先进制程保驾护航。

极限精度：±2°C破解ppb级水分检测难题

半导体工艺对气体露点的容忍度近乎苛刻。例如，硅烷（SiH₄）输送需控制露点低于-80°C，对应水分含量仅0.01 ppm(v)；而高纯氩气在ALD（原子层沉积）工艺中，露点需稳定在-100°C以下。英国SHAW在线露点仪Superdew 3采用Shaw**氧化铝传感器，结合SU4型样品调节装置的-100°C至+20°C宽量程设计，可实现±2°C精度与0.1°C分辨率的极限检测。在台积电某12英寸晶圆厂，该系统被部署于特气供应柜，实时监测BCl₃（三氯化硼）露点，当检测到-95°C露点波动时，自动触发纯化器再生程序，将水分含量锁定在0.005 ppm(v)以内，使刻蚀速率偏差从±3%降至±0.5%。

抗污染设计：SU4装置攻克超纯气体检测壁垒

超纯气体中的微粒与杂质易污染传感器，导致数据漂移。SU4型样品调节装置通过三级过滤系统（5μm+1μm+0.1μm）与全金属密封结构，有效阻隔99.999%的颗粒物；其**设计的“零死角”流道，避免气体残留，确保检测真实性。在三星某3D NAND闪存产线，该装置被用于监测C₄F₈（八氟环丁烷）露点，其316L不锈钢材质与电抛光内壁可耐受CF系腐蚀性气体，传感器寿命延长至18个月，较传统设备提升3倍。

智能闭环：4-20 mA输出联动工艺控制

英国SHAW在线露点仪Superdew 3的4-20 mA线性输出可直接接入SECS/GEM协议，与AMHS（自动物料搬运系统）或FDC（故障检测分类）系统联动。当露点超标时，系统自动执行以下操作：

1. 关闭问题气柜的MFC（质量流量控制器）；

2. 启动备用气路并切换氮气吹扫；

3. 向MES系统推送报警信息，触发工程师响应。
在英特尔某7nm逻辑芯片厂，该闭环控制使气体供应中断事件减少70%，年因水分污染导致的晶圆报废量从1200片降至200片以下。

从硅基材料生长到芯片封装，英国SHAW在线露点仪Superdew 3搭配SU4装置以±2°C精度、ppb级检测能力及全流程抗污染设计，重新定义了半导体超纯气体湿度管理的标准。其NPL溯源校准证书与SEMI S2认证，进一步满足了SEMI E49.1气体纯度规范要求。在先进制程竞争日益激烈的今天，这一组合已成为台积电、三星、英特尔等巨头保障工艺稳定性、提升良品率的“隐形**”。

1. 仪器类型与用途：
   • 类型：单通道在线露点仪    
   • 用途：测量工艺气体和压缩空气中的露点    
2. 外壳与防护：
   • 面板安装外壳防护等级：IP54    
   • 前面板防风雨等级：IP65    
3. 传感器技术：
   • 传感器类型：Shaw超高电容氧化铝传感器    
   • 精度：整体系统精度优于±2°C（±3.6°F）露点
   • 分辨率：0.1°C，0.1°F露点或0.1 ppm(v)
   • 重复性：优于±0.3°C（±0.54°F）露点
4. 测量范围：
   • 紫色范围（P）：-100°C至0°C露点，0-6000 ppm(v)    
   • 银色范围（S）：-100°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v)    
   • 灰色范围（G）：-80°C至0°C露点，0-6000 ppm(v)    
   • 红色范围（R）：-80°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v)    
   • 蓝色范围（BL）：-80°C至+20°C露点，0-23000 ppm(v)    
5. 显示与输出：
   • 显示：五字符LED显示屏，可显示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf    
   • 报警继电器：两个完全可编程的报警继电器    
   • 模拟输出：标配一个隔离的4-20 mA模拟输出，量程可调    
6. 校准与功能：
   • 校准功能：AutoCal校准功能，提供可追溯至国际标准的校准证书    
   • 现场校准：支持现场校准和量程检查    
7. 环境适应性：
   • 工作温度：-20°C至+60°C（-4°F至+140°F）
   • 储存温度：-20°C至+70°C（-4°F至+158°F）
   • 工作湿度：*高95%RH非冷凝
8. 电气特性：
   • 工作电压：90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC
   • 电磁兼容性：符合EN 61326:2006标准    
9. 机械特性：
   • 工作压力：从1 kPa（0.01 barA）到*大值35,000 kPa（350 barA）
   • 探头材料：316不锈钢
   • 传感器保护装置：316烧结不锈钢过滤器，50微米
10. 质保与保修：
    • 质保期：工艺和零件缺陷的12个月

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