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精准把控高纯气湿度英国SHAW在线露点仪Superdew 3 护航半导体生产

日期：2026-06-12 13:07
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摘要： 半导体电子制造工艺精密复杂，高纯氮气、氩气、氦气等工艺载气与保护气贯穿晶圆刻蚀、薄膜沉积、芯片封装等多个核心工序。气体中混入的微量水汽会引发晶圆氧化、电路缺陷、工艺精度下降等问题，影响器件品质与生产稳定性，因此对各类高纯气体开展常态化湿度检测尤为关键，英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 是半导体车间气体监测的可靠设备。 英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 搭载肖氏超高电容氧化铝传感器，测量性能稳定可靠。该设备露点测量精度可达 ±2℃，重...



半导体电子制造工艺精密复杂，高纯氮气、氩气、氦气等工艺载气与保护气贯穿晶圆刻蚀、薄膜沉积、芯片封装等多个核心工序。气体中混入的微量水汽会引发晶圆氧化、电路缺陷、工艺精度下降等问题，影响器件品质与生产稳定性，因此对各类高纯气体开展常态化湿度检测尤为关键，英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 是半导体车间气体监测的可靠设备。




英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 搭载肖氏超高电容氧化铝传感器，测量性能稳定可靠。该设备露点测量精度可达 ±2℃，重复性表现良好，分辨率为 0.1℃，可以敏锐捕捉高纯气体中细微的湿度波动。仪器整体露点测量范围覆盖 - 100℃至 + 20℃，搭配多款不同量程传感器，能够适配半导体行业不同等级高纯氮气、氩气、氦气的检测标准，满足各道工序的监测需求。
半导体厂房洁净度高、工况稳定，英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 可很好适配现场使用环境。设备工作温度区间为 - 20℃至 + 60℃，能够长期稳定运行在生产车间内。探头采用 316 不锈钢材质，并配备 50 微米烧结不锈钢过滤器，可阻隔管路内微小杂质，避免传感器受损，保障连续在线监测。仪器对样气流量兼容性强，在气体输送常规流量区间内均可正常工作，契合载气、保护气管路的运行条件。
在功能设计上，英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 贴合半导体自动化生产管理模式。设备配备背光 LED 显示屏，支持℃、ppm (v) 等多种单位切换，现场读取数据清晰便捷。两路可编程报警继电器可提前设定露点阈值，一旦气体湿度超标便及时触发警报，提醒运维人员排查气体净化系统。标配隔离型 4-20mA 模拟输出，可接入厂区中控平台，实现远程集中监控。仪表与传感器*大布线距离可达 1000 米，可灵活布置在气体出口、输送管网等多个监测点位。
英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 自带 AutoCal 自动校准功能，校准文件可追溯至国际湿度标准，长期使用依旧可以维持测量准确性。设备采用标准 DIN 面板安装，前面板防护等级为 IP65，防尘防溅，安装与日常维护都较为简便。在半导体电子生产流程中，英国 SHAW 在线露点仪 Superdew 3 持续对高纯氮气、氩气、氦气等气体进行露点检测，有效管控气体纯度，减少水汽带来的工艺隐患，为半导体器件稳定生产提供坚实保障
  1. 仪器类型与用途：
    • 类型：单通道在线露点仪                  
    • 用途：测量工艺气体和压缩空气中的露点                  
  2. 外壳与防护：
    • 面板安装外壳防护等级：IP54                  
    • 前面板防风雨等级：IP65                  
  3. 传感器技术：
    • 传感器类型：Shaw超高电容氧化铝传感器                  
    • 精度：整体系统精度优于±2°C（±3.6°F）露点
    • 分辨率：0.1°C，0.1°F露点或0.1 ppm(v)
    • 重复性：优于±0.3°C（±0.54°F）露点
  4. 测量范围：
    • 紫色范围（P）：-100°C至0°C露点，0-6000 ppm(v)                  
    • 银色范围（S）：-100°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v)                  
    • 灰色范围（G）：-80°C至0°C露点，0-6000 ppm(v)                  
    • 红色范围（R）：-80°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v)                  
    • 蓝色范围（BL）：-80°C至+20°C露点，0-23000 ppm(v)                  
  5. 显示与输出：
    • 显示：五字符LED显示屏，可显示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf                  
    • 报警继电器：两个完全可编程的报警继电器                  
    • 模拟输出：标配一个隔离的4-20 mA模拟输出，量程可调                  
  6. 校准与功能：
    • 校准功能：AutoCal校准功能，提供可追溯至国际标准的校准证书                  
    • 现场校准：支持现场校准和量程检查                  
  7. 环境适应性：
    • 工作温度：-20°C至+60°C（-4°F至+140°F）
    • 储存温度：-20°C至+70°C（-4°F至+158°F）
    • 工作湿度：*高95%RH非冷凝
  8. 电气特性：
    • 工作电压：90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC
    • 电磁兼容性：符合EN 61326:2006标准                  
  9. 机械特性：
    • 工作压力：从1 kPa（0.01 barA）到*大值35,000 kPa（350 barA）
    • 探头材料：316不锈钢
    • 传感器保护装置：316烧结不锈钢过滤器，50微米
  10. 质保与保修：
    • 质保期：工艺和零件缺陷的12个月

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