英国SHAW SDHmini：电子特气质量控制的精密守护者

在半导体与平板显示制造中，电子级高纯气体的质量直接决定着芯片良率与面板性能。无论是NF₃、WF₆还是SiH₄，这些特种气体对水分含量的要求极为苛刻，通常需要控制在ppm级别。微量水分可能导致薄膜沉积缺陷、蚀刻不均等严重问题。因此，生产过程中对电子特气进行实时露点监控，是质量控制的核心环节。英国SHAW公司推出的SDHmini便携式露点仪，以其出色的ppm级测量能力和便携设计，为电子特气质量控制提供了可靠的现场检测方案。

ppm级精准测量，匹配电子特气严苛要求

电子特气的露点监控要求测量范围覆盖超低水分区间。SDHmini搭载肖氏超高电容氧化铝传感器，其中银色与红色量程可覆盖-100℃~-20℃露点、0~1,000ppm(v)的测量范围，分辨率高达0.1℃露点或0.1ppm(v)，准确度达±2℃露点，重复性优于±0.3℃露点。这一参数配置能够有效覆盖电子特气生产中对微量水分的检测需求，为气体纯度判定提供真实可靠的数据支撑。

干燥舱室设计，确保测量准确可靠

电子特气生产环境对污染极为敏感。SDHmini采用独特的干燥舱室设计，传感器被，干燥剂包围，两次测量之间传感器不直接接触环境气体，避免交叉污染。仅需升高干燥舱室即可让传感器暴露于样品气体中，快速获得准确读数。这一设计特别适合洁净车间内多点、高频次的气体质量巡检。

AutoCal自动校准，降低运维成本

半导体工厂通常连续生产，停机送检将影响产能。SDHmini内置AutoCal自动校准装置，只需将传感器暴露在环境空气中即可完成校准验证，无需特殊仪器或技术人员，有效减少停机时间和校准费用，保障产线连续运转。

轻便坚固，适合洁净车间巡检

整机重量不到1.75kg，IP66/NEMA 4X防护等级，可在-20℃~+50℃环境中稳定运行。内置可充电锂电池支持连续150小时操作，充电仅需12小时。全彩色LCD大屏支持中文等10种语言，数据记录容量达300,000个点，支持USB和蓝牙传输至PC，方便生成检测报告，满足电子工厂对数据追溯的严格要求。

SDHmini以扎实的ppm级测量性能、独特的干燥舱室设计和完善的数据管理功能，为电子特气质量控制提供了从测量、校准到记录的完整解决方案，是半导体与面板制造中气体质量管理的可靠伙伴

英国肖氏SHAW系列露点仪、便携式露点仪SADP露点仪、 防爆手持露点仪SDHmini-EX、手持式露点仪SDHmini、手持露点仪SDHmini-L、露点仪传感器SE-P、露点仪传感器SE-G、露点仪传感器SE-B、防爆SDT-EX露点仪变送器、SWS-SD3在线露点仪、在线露点仪Superdew3、露点仪变送器Acudew，获取更多SHAW露点仪产品的详细信息，请访问我们的网站：http://www.shawmeters.com.cn。

主要产品：在线露点仪|露点仪厂家｜肖氏露点仪|露点仪品牌｜｜SHAW露点仪｜露点仪变送器SDT-EX|露点仪价格｜露点仪批发|在线露点仪｜便携式露点仪SDHmini-Ex｜压缩空气露点仪|SADP露点仪|||在线露点仪| |｜肖氏露点传感器|肖氏露点仪|膜康透湿仪|｜顶空分析仪|药品残氧仪|压缩空气露点仪|冷镜露点仪DewTrace｜冷镜露点仪DewMaster|Mocon透氧仪|膜康透湿仪|PBI顶空分析仪|