美国EdgeTech DewTech390冷镜露点仪守护半导体超高纯气体的每一滴水

在半导体制造领域，芯片良率的竞争往往取决于对极微量水分的控制能力。哪怕是十亿分之**别（ppb）的水汽污染，都可能导致光刻缺陷、氧化层异常，*终造成整批晶圆报废。美国EdgeTech Instruments推出的DewTech390冷镜式露点仪，正是为这一严苛需求而生的高精度测量利器。

冷镜原理，宽范围覆盖

DewTech390的核心采用三级珀耳帖冷却冷冻镜传感器，并集成附加制冷系统，可实现从-90°C霜点到+20°C露点的超宽测量范围，准确性达±0.2°C，按需可提供±0.1°C的更高精度。这意味着无论是干燥的超高纯氮气，还是湿度稍高的工艺气体，DewTech390都能准确捕捉其中的微量水分。

免校准设计，稳定可靠

半导体产线追求连续运行，频繁停机校准代价高昂。DewTech390无需定期重新校准，启动时自动重新平衡光学系统，并能自动校正大多数镜面污染物，真正实现无人值守的长时间稳定运行。同时，用户可编程双报警功能支持闭锁或自动复位模式，一旦水分超标即可立即触发警报，保障产线安全。

多信号输出，无缝集成

该仪器支持0至5V DC、4至20mA、0至10V DC等多种模拟输出，以及RS232串行通信，可与终端、打印机或计算机直接连接，方便接入半导体工厂的DCS或SCADA系统，实现数据的实时采集与追溯。

美国制造，权威认证

DewTech390在美国ISO 9001:2015注册工厂制造，其校准实验室获得ISO/IEC 17025:2005认证，每台仪器随附NIST可追溯性证书，完全满足半导体行业对测量可追溯性和合规性的严格要求。

从氮气、氩气到特气系统，DewTech390以其宽范围、高精度、免维护的特性，正在成为半导体工厂气体纯度监控的可靠选择，为每一片芯片的品质保驾护航

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