英国SHAW SDHmini：守护半导体洁净环境的便携露点利器

在半导体与电子制造领域，洁净室和工艺气体的湿度控制是保障芯片良率的关键环节。哪怕是极微量的水分，都可能在硅片表面引发氧化反应，导致器件性能劣化甚至报废。因此，半导体行业对露点监控的要求极为严苛，通常需要在－100℃以下的极低露点范围内进行精准检测。英国SHAW公司推出的SDHmini便携式露点仪，凭借超高精度和快速响应能力，为这一**制造场景提供了可靠的检测方案。

超高精度，锁定超低露点

半导体洁净室中，工艺气体的露点往往需要监控在－80℃甚至更低的范围内。SDHmini提供五种量程配置，其中紫色型号覆盖－100℃至0℃露点范围，对应0～6,000 ppm（v）的水分含量；银色型号覆盖－100℃至－20℃露点，对应0～1,000 ppm（v）的水分含量，完全满足半导体行业对超低露点的监控需求。仪器测量准确度达±2℃露点，分辨率高达0.1℃露点或0.1 ppm（v），重复性优于±0.3℃露点，能够精准捕捉工艺气体中的微量水分变化，为洁净室管理人员提供可信赖的数据支撑。

干燥舱室设计，保障测量纯净

半导体生产对环境洁净度要求极高，任何外部污染物都可能影响检测结果。SDHmini采用独特的干燥舱室设计——传感器被，干燥剂完全包围，在两次测量之间与环境空气彻底隔离。干燥头升起后，传感器才暴露于样品气体中，确保每次测量前传感器处于完全干燥状态。干燥至潮湿的反应时间（－100℃～－20℃）小于20秒，能够快速完成工艺气体的露点检测，满足产线高频次监测的需求。

现场自动校准，减少停机损失

半导体工厂的产线停机成本极高，SDHmini搭载AutoCal自动校准装置，基于肖氏传感器的特殊设计，巡检人员只需将传感器暴露在环境空气中，仪器即可自动完成校准，无需携带特殊校准设备或依赖专业技术人员。这一设计有效减少了停机时间和校准费用，特别适合无尘车间内的日常巡检和多点位轮检场景。

坚固便携，适应产线环境

整机重量不到1.75kg，防护等级达IP66/NEMA 4X，可在－20℃至＋50℃的环境中稳定工作。内置可充电锂电池支持长达150小时连续操作，配合USB和蓝牙传输，*多可记录300,000个数据点并导出至PC，方便半导体企业建立工艺气体湿度的长期趋势档案，助力良率分析与工艺优化。

英国SHAW SDHmini以高精度、快响应和强耐用性，为半导体与电子制造行业的洁净室露点监控提供了值得信赖的便携方案，助力芯片制造企业守护产品品质与生产效率

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