精控湿度，铸就芯片品质：SHAW SD3-Exd在线露点仪守护半导体制造纯净之旅
在半导体芯片制造这一精密至极的领域，高纯度气体是确保芯片性能稳定、避免缺陷产生的关键因素。气体中的水分含量，作为影响气体纯度的重要指标之一，其微小波动都可能对芯片制造过程产生深远影响。在此背景下，英国SHAW公司的SD3-Exd在线露点仪，凭借其**的监测能力，成为了半导体制造企业把控气体纯度的得力伙伴。
SHAW SD3-Exd在线露点仪，专为危险及严苛环境设计，不仅通过了ATEX和IECEx标准认证，确保在潜在爆炸性环境中的安全运行，更以IP66的防护等级，有效抵御了生产现场的尘埃与湿气侵扰，保障了设备的长期稳定运行。这对于需要持续、稳定监测气体湿度的半导体制造过程而言，无疑提供了坚实的技术保障。
在气体水分监测方面，SD3-Exd展现了其高精度与可靠性。搭载SHAW系列超高电容传感器技术，该仪器能够**测量气体露点，范围广泛覆盖-100°C至+20°C，且精度高达±2°C，满足了半导体制造对气体纯度的严苛要求。通过实时监测气体中的水分含量，操作人员可以及时调整气体净化系统的参数，确保生产过程中的气体始终保持高纯度状态，从而有效防止因水分引起的芯片缺陷。
此外，SD3-Exd在线露点仪还具备自动校准功能，用户无需依赖特殊设备或专业技术人员，即可在现场轻松完成校准，确保了测量数据的持续准确。其大LED显示屏与可编程报警继电器设计，使得操作人员能够直观、便捷地监控气体湿度变化，并在水分含量接近或超出安全范围时立即收到报警，从而迅速采取应对措施，避免潜在的生产风险。
在半导体芯片制造过程中，SD3-Exd在线露点仪的应用，不仅提升了生产效率与产品质量，更显著降低了因气体湿度问题导致的芯片报废率与生产中断风险。其稳定可靠的性能与精准的控制能力，赢得了半导体制造企业的广泛赞誉，成为了守护芯片品质、推动行业发展的重要力量
-
产品概述：
- 产品名称：Superdew3WP露点湿度计
- 设计目的：专为在工艺气体和压缩空气中提供准确的露点测量而设计
- 外壳类型：壁装式防风雨外壳，具有IP65（NEMA4X）级面板保护
-
性能参数：
- 精度：整体系统精度优于±2°C（±3.6°F）露点
- 传感器类型：SHAW超高电容氧化铝传感器
- 测量范围：整体范围-100°C至+20°C（-148°F至+68°F）露点
- 重复性：露点优于±0.3°C（±0.54°F）
- 分辨率：0.1°C、0.1°F露点或0.1ppm（v）
-
显示与输出：
- 显示屏：五字符LED，带背光
- 显示单位：用户可选择°C、°F、ppm（V）或lb/MMSCF
- 模拟输出：隔离的4-20mA模拟输出，量程可定制
- 报警功能：两个完全可编程的报警继电器，设定点可独立调节
-
电气与环境参数：
- 工作电压：90V至250V AC（50/60Hz）或24V DC选项
- 工作温度：-20°C至+60°C（-4°F至+140°F）
- 储存温度：-20°C至+70°C（-4°F至+158°F）
- 电磁兼容性（EMC）：抗扰度符合EN 61326:2021，发射符合EN 61726:2021
-
机械与安装：
- 安装方式：墙壁或DIN导轨安装
- 探头材料：316不锈钢
- 传感器保护：316烧结不锈钢过滤器-50微米
- 预热时间：5秒
-
校准与保修：
- 校准证书：提供可追溯到NPL国家和国际湿度标准的校准证书
- 校准保修：自发货之日起12个月
- 产品保修：露点湿度计两年保修，电气部分24个月（如果工艺和零件有缺陷）
-
其他特性：
- AutoCal（自动校准）功能
- 样品流速：流量独立，但理想情况下为每分钟2-5升，*大25升/分钟
- 工作压力：从1kPa（0.01barA）到*大35000kPa（350barA）
- 工作湿度（外部）：*大-95%RH不凝结
