英国SHAW便携式露点仪SDHmini：半导体制造的“湿度控制卫士”

半导体制造是精密工艺与严苛环境控制的结合体，生产过程中气体湿度的微小波动都可能引发晶圆表面氧化、颗粒污染或化学气相沉积（CVD）工艺失效，导致产品良率下降甚至整批次报废。英国SHAW公司推出的SDHmini便携式露点仪，凭借其超高精度、快速响应及半导体行业专用设计，成为保障无尘室气体湿度稳定、提升芯片制造良率的“核心工具”。

技术内核：纳米级湿度控制的“精密标尺”

SDHmini的露点测量范围覆盖-100℃至+20℃，分辨率达0.1℃，准确度±2℃，可精准捕捉半导体工艺气体中ppb（十亿分之一）级的水分含量变化。其肖氏超高电容氧化铝传感器采用纳米级孔隙结构，对水分子具有超高选择性，避免与工艺气体中的其他成分（如硅烷、氨气）发生交叉干扰。配合干燥剂舱室自动净化技术，传感器在每次测量前自动排除环境空气冷凝影响，确保数据真实性。此外，仪器内置抗电磁干扰模块，可抵御无尘室内高频设备产生的电磁噪声，保障测量稳定性。

半导体场景应用：从晶圆制造到封测的全流程防护

光刻工艺气体净化：
在极紫外光刻（EUV）或深紫外光刻（DUV）中，高纯氩气或氦气需严格控湿（露点≤-80℃），以防止光刻胶吸潮导致图形畸变。SDHmini可实时监测气体供应管路的露点，确保湿度符合SEMI标准，避免晶圆报废。

化学气相沉积（CVD）控制：
在硅晶圆镀膜过程中，若反应气体（如硅烷、氮化硅）含水量超标，会导致薄膜结晶缺陷或颗粒污染。通过SDHmini监测气体露点，可动态调整干燥装置参数，将水分含量稳定控制在≤1ppb，提升薄膜均匀性。

封装环境湿度验证：
在芯片封装环节，惰性气体（如氮气）的湿度需控制在≤-60℃露点，以防止潮气侵入引发焊点腐蚀或分层。SDHmini的便携性使其可快速完成封装腔体、手套箱等密闭空间的湿度验证，缩短设备换气时间。

洁净室专用设计：适应半导体生产的严苛环境

SDHmini外壳采用316L不锈钢材质，通过IP66防护认证，可耐受无尘室常用的异丙醇清洗、臭氧**及低粉尘环境。其全彩色LCD屏幕支持手套操作模式，菜单逻辑符合SEMI E10标准，数据记录可追溯至操作人员与时间节点。30万点数据存储容量与蓝牙/USB传输功能，使得现场检测数据可直接对接工厂MES系统，实现湿度异常的实时报警与工艺参数联动调整。

案例实证：某晶圆厂的良率跃升

某12英寸晶圆厂曾在CVD工艺中遭遇薄膜缺陷率超标问题，经排查发现反应气体露点波动导致水分混入。引入SDHmini后，通过在气体供应管路、干燥塔出口等关键节点部署监测点，企业将气体露点稳定控制在-85℃以下，薄膜缺陷率下降90%，年减少良率损失超5000万元。

在半导体制造“微米级精度决定成败”的竞争格局下，英国SHAW便携式露点仪SDHmini以技术精准性、场景适配性与智能化能力，成为贯穿晶圆制造全流程的“湿度控制**”。它不仅是保障产品良率的“隐形盾牌”，更是推动工艺优化、提升国际竞争力的“关键引擎”。

1. • 产品类型与功能：
     • 产品类型：SDHmini便携式露点仪
     • 功能：快速测量露点并追踪微量水分含量，为工业应用提供可靠结果        
   • 物理特性：
     • 外壳材料：包含水分传感器、干燥剂舱室、气体样品口、信号调理电路、存储管理、彩色大LCD屏幕        
     • 尺寸：97mm (宽) x 147mm (深) x 211mm (高，干燥头伸出为259mm)        
     • 重量：<1.75kg        
     • 防水分类：IP66/NEMA 4X        
   • 电源与电池：
     • 电池类型：机载可充电锂电池
     • 电池寿命：连续操作150小时
     • 充电时间：12小时        
   • 显示与操作：
     • 显示屏：全彩色大LCD屏幕，分辨率320 x 240（24 bits）        
     • 操作语言：支持10种语言（英语、德语、法语、西班牙语、葡萄牙语、俄罗斯语、意大利语、汉语、日语、韩语）        
     • 菜单显示：直观简单        
   • 测量参数：
     • 测量范围：
       • 紫色传感器：-100℃ - 0℃露点，0-6000ppm(v)
       • 银色传感器：-100℃ - -20℃露点，0-1000ppm(v)
       • 灰色传感器：-80℃ - 0℃露点，0-6000ppm(v)
       • 红色传感器：-80℃ - -20℃露点，0-1000ppm(v)
       • 蓝色传感器：-80℃ - +20℃露点，0-23000ppm(v)
     • 准确度：±2℃露点        
     • 分辨率：0.1℃露点或0.1ppm(v)        
     • 重复性：优于±0.2℃露点        
     • 反应时间：
       • 潮湿至干燥：-10℃ - -60℃，<120s
       • 干燥至潮湿：-100℃ - -20℃，<20s        
   • 数据记录与传输：
     • 数据记录能力：*多300,000个数据点
     • 数据传输：通过USB和蓝牙传输给PC并打印
     • 实时记录与图形化显示：支持        
   • 校准与维护：
     • 自动校准（AutoCal）：传感器设计有自动校准功能，减少停机时间和校准费用        
     • 校准证书：提供校准证书，可通过国家和国际标准查询        
   • 环境适应性：
     • 操作温度：-20℃ - +50℃        
     • 保存温度：-30℃ - +70℃        
     • 操作湿度（外部）：*大-95% RH，无冷凝        
     • 操作压力：*大0.3bar / 4psi        
   • 传感器保护：
     • 传感器保护：316不锈钢烧结过滤器，-50μm        
   • 订购信息：
     • 类型选择：根据露点范围选择（紫色、银色、灰色、红色、蓝色）
     • 样品连接：指定入口连接类型和尺寸
     • 电源类型：根据使用地区选择（英国型、美国型、欧盟型、澳大利亚型、韩国型、阿根廷型、印度型、中国型、巴西型、南非型）