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英国Alphasense CH-A3传感器,半导体制造的“安全守护精灵”

日期:2026-02-02 19:33
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摘要: 半导体制造,作为现代科技产业的核心领域,其生产过程对环境要求极为严苛,堪称“在针尖上跳舞”。在这个过程中,会大量使用各类易燃和有毒气体,如硅烷、磷烷等,一旦发生泄漏,不仅会损坏价值高昂的精密设备,更会对人员生命安全构成严重威胁。英国Alphasense公司的可燃气体催化燃烧式传感器CH-A3,凭借**性能,成为半导体制造过程中保障安全的关键“卫士” 半导体制造车间犹如一个精密的“化学实验室”,气体泄漏的风险无处不在。哪怕是极其微量的易燃气体泄漏,在特定的环境条件下,也可能迅速积...

半导体制造,作为现代科技产业的核心领域,其生产过程对环境要求极为严苛,堪称“在针尖上跳舞”。在这个过程中,会大量使用各类易燃和有毒气体,如硅烷、磷烷等,一旦发生泄漏,不仅会损坏价值高昂的精密设备,更会对人员生命安全构成严重威胁。英国Alphasense公司的可燃气体催化燃烧式传感器CH-A3,凭借**性能,成为半导体制造过程中保障安全的关键“卫士”



半导体制造车间犹如一个精密的“化学实验室”,气体泄漏的风险无处不在。哪怕是极其微量的易燃气体泄漏,在特定的环境条件下,也可能迅速积聚并与空气形成爆炸性混合物,遇到静电、火花等能量源时,就会引发剧烈爆炸,摧毁整个生产线。CH-A3传感器拥有15 - 22 mV / %甲烷的高灵敏度,对于易燃气体有着极高的检测精度。它能够精准捕捉到空气中哪怕极其微弱的浓度变化,如同敏锐的“嗅觉”,不放过任何一丝潜在的危险信号。

同时,半导体制造中使用的部分气体还具有毒性,如砷化氢等,一旦泄漏,会对人员的呼吸系统、神经系统等造成严重损害。CH-A3传感器不仅对易燃气体敏感,对有毒气体同样具备出色的检测能力,能够及时发现有毒气体的泄漏,为人员疏散和应急处理争取宝贵时间。

在半导体制造这样高度自动化和连续化的生产过程中,时间就是效率和安全。CH-A3传感器具备快速响应能力,从空气到50% LEL甲烷的t90时间小于15秒,一般情况甚至小于7秒。这意味着一旦发生气体泄漏,传感器能够在极短的时间内发出警报,通知工作人员迅速采取措施,如关闭阀门、启动通风系统等,将泄漏事故的影响控制在*小范围内,有效保护精密设备和人员安全。

英国Alphasense公司的CH-A3可燃气体催化燃烧式传感器,以其高精度和快速响应能力,为半导体制造过程构筑了一道坚实的安全防线,成为保障产业稳定发展和人员生命安全的“安全守护精灵”。


英国Alphasense公司的CH-A3催化燃烧甲烷传感器参数丰富且性能优异,其灵敏度范围在15~22 mV/%甲烷,反应时间迅速,从空气到50% LEL甲烷的t90时间一般小于7秒;零点输出稳定,在零级空气中为±20 mV,量程覆盖0~100% LEL甲烷,且在该范围内线性度良好,非线性误差小于4%;环境适应性方面,-20°C至50°C温度范围内灵敏度变化可控,-20°C和50°C时灵敏度变化分别小于+0.5%和-1.5%,零点LEL变化也较小,同时符合T4温度组别要求,湿度0%到80% rh时灵敏度损失仅12%,零点增加的LEL百分比为1.0%,压力在0~75 kPa时灵敏度变化小于3%

;对于氯气、硫化氢等抑制/中毒气体,通12小时20ppm后灵敏度损失可恢复,六甲基二硅烷通10ppm时灵敏度损失50%的小时数为9,还可选购H2S一次性过滤器;电气性能上,电压3.0V(±0.2 V),功耗190mV,电压灵敏度0.1V电压变化可引起灵敏度变化百分比为3,重量小于26克,工作寿命大于24个月(灵敏度下降至原始灵敏度75%的月数,24个月质保)     
;此外,该传感器对氢气、一氧化碳、丙烷等多种碳氢化合物/气体有相对甲烷的灵敏度百分比。     



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