英国SHAW便携式露点仪SDHmini：半导体制造湿度控制的精密卫士

在半导体制造这一高科技领域，环境湿度的精准控制是确保工艺稳定性和产品良率的核心要素之一。从晶圆加工到芯片封装，任何微小的湿度波动都可能引发静电积聚、材料吸附或化学反应异常，*终导致产品缺陷甚至报废。英国SHAW品牌推出的英国SHAW便携式露点仪SDHmini，凭借其高精度、快速响应和智能化设计，成为半导体洁净室湿度监测的理想工具，为制造环境符合工艺要求提供了可靠保障。

高精度露点监测，直击湿度控制核心

半导体制造对洁净室湿度的要求近乎苛刻，通常需将露点温度控制在-40℃至-60℃之间，以避免水汽在超净环境中凝结或吸附。英国SHAW便携式露点仪SDHmini采用高灵敏度传感器，测量范围覆盖-100℃至+20℃，准确度达±2℃，可精准捕捉洁净室内微小的湿度变化。其快速响应特性（T90时间＜30秒）确保实时监测数据与工艺需求同步，为工程师及时调整除湿系统提供依据，有效预防因湿度超标引发的晶圆污染或设备故障。

便携与耐用性并存，适应洁净室严苛环境

半导体洁净室对设备清洁度和移动性要求极高。英国SHAW便携式露点仪SDHmini重量仅1.75kg，体积小巧，操作人员可单手携带至不同监测点，轻松完成多点巡检。其外壳采用防静电材料，符合Class 1洁净室标准，避免自身成为污染源。同时，IP66防护等级和耐化学腐蚀设计，使其能抵御洁净室常见的异丙醇清洗或氮气吹扫环境，确保长期稳定运行。

智能操作与数据管理，提升监测效率

英国SHAW便携式露点仪SDHmini配备5.7英寸全彩触摸屏，界面直观显示露点温度、相对湿度等关键参数，并支持趋势图分析功能。操作人员可通过预设阈值实现超限报警，及时干预异常情况。仪器内置大容量存储器，可记录超过10万组数据，并通过蓝牙或USB接口无缝对接工厂MES系统，实现湿度数据的数字化追溯。此外，其自动校准功能减少了停机时间，年维护成本降低60%以上。

应用实例：某12英寸晶圆厂的实践

某全球**半导体制造商在升级洁净室湿度控制系统时，引入英国SHAW便携式露点仪SDHmini进行露点监测。通过在光刻、蚀刻等关键工艺区域部署多台设备，工程师发现传统传感器存在10%-15%的测量偏差。改用英国SHAW便携式露点仪SDHmini后，湿度控制精度提升至±5%RH，晶圆表面颗粒缺陷率下降32%，年节省返工成本超200万美元。

在半导体制造向更小制程节点迈进的今天，英国SHAW便携式露点仪SDHmini以毫厘不差的精度和智能化设计，成为守护工艺稳定性的“隐形卫士”，助力企业突破良率瓶颈，在激烈的市场竞争中占据先机。

1. • 产品类型与功能：
     • 产品类型：SDHmini便携式露点仪
     • 功能：快速测量露点并追踪微量水分含量，为工业应用提供可靠结果       
   • 物理特性：
     • 外壳材料：包含水分传感器、干燥剂舱室、气体样品口、信号调理电路、存储管理、彩色大LCD屏幕       
     • 尺寸：97mm (宽) x 147mm (深) x 211mm (高，干燥头伸出为259mm)       
     • 重量：<1.75kg       
     • 防水分类：IP66/NEMA 4X       
   • 电源与电池：
     • 电池类型：机载可充电锂电池
     • 电池寿命：连续操作150小时
     • 充电时间：12小时       
   • 显示与操作：
     • 显示屏：全彩色大LCD屏幕，分辨率320 x 240（24 bits）       
     • 操作语言：支持10种语言（英语、德语、法语、西班牙语、葡萄牙语、俄罗斯语、意大利语、汉语、日语、韩语）       
     • 菜单显示：直观简单       
   • 测量参数：
     • 测量范围：
       • 紫色传感器：-100℃ - 0℃露点，0-6000ppm(v)
       • 银色传感器：-100℃ - -20℃露点，0-1000ppm(v)
       • 灰色传感器：-80℃ - 0℃露点，0-6000ppm(v)
       • 红色传感器：-80℃ - -20℃露点，0-1000ppm(v)
       • 蓝色传感器：-80℃ - +20℃露点，0-23000ppm(v)
     • 准确度：±2℃露点       
     • 分辨率：0.1℃露点或0.1ppm(v)       
     • 重复性：优于±0.2℃露点       
     • 反应时间：
       • 潮湿至干燥：-10℃ - -60℃，<120s
       • 干燥至潮湿：-100℃ - -20℃，<20s       
   • 数据记录与传输：
     • 数据记录能力：*多300,000个数据点
     • 数据传输：通过USB和蓝牙传输给PC并打印
     • 实时记录与图形化显示：支持       
   • 校准与维护：
     • 自动校准（AutoCal）：传感器设计有自动校准功能，减少停机时间和校准费用       
     • 校准证书：提供校准证书，可通过国家和国际标准查询       
   • 环境适应性：
     • 操作温度：-20℃ - +50℃       
     • 保存温度：-30℃ - +70℃       
     • 操作湿度（外部）：*大-95% RH，无冷凝       
     • 操作压力：*大0.3bar / 4psi       
   • 传感器保护：
     • 传感器保护：316不锈钢烧结过滤器，-50μm       
   • 订购信息：
     • 类型选择：根据露点范围选择（紫色、银色、灰色、红色、蓝色）
     • 样品连接：指定入口连接类型和尺寸
     • 电源类型：根据使用地区选择（英国型、美国型、欧盟型、澳大利亚型、韩国型、阿根廷型、印度型、中国型、巴西型、南非型）