英国肖氏SADP便携式露点仪：电子级气体湿度控制的“纳米级卫士”

在半导体制造领域，电子级气体（如高纯氮气N₂、氩气Ar）是晶圆生产中不可或缺的“工艺血液”，广泛应用于光刻、蚀刻、清洗等核心环节。然而，气体中若混入微量水分（通常要求≤1ppb），会引发晶圆表面氧化、光刻胶脱落、颗粒污染等问题，导致良品率骤降甚至生产线停机。英国肖氏SADP便携式露点仪凭借其ppb级检测灵敏度、抗干扰设计和便携性，成为电子气体湿度监测的“**工具”，为半导体制造的“超净环境”提供关键保障。

一、电子级气体的“致命弱点”：水分污染

半导体制造对气体纯度要求近乎苛刻。以氮气为例，其水分含量需控制在0.1ppb以下（相当于露点温度<-90℃），否则水分子会与晶圆表面的硅基材料反应，生成氧化硅（SiO₂）或氢氧化物，破坏器件电学性能。例如，在28nm以下先进制程中，气体管道内即使存在1ppb水分，也可能导致光刻胶与晶圆附着力下降，造成图案转移失败。此外，水分还会加速气体管道内壁腐蚀，释放金属离子污染晶圆。

二、英国肖氏SADP便携式露点仪：专为电子气体设计的“技术**”

ppb级检测灵敏度
SADP系列采用双冷镜式传感器与激光光谱复合技术，可直接测量气体中水分子浓度，检测下限达0.1ppb，精度±0.5ppb（露点温度对应-100℃至-60℃）。其**的“动态零点校准”功能可自动消除环境湿度干扰，确保数据稳定性。

抗腐蚀与超洁净设计
传感器表面镀有惰性金属涂层，可耐受高纯气体中微量氧、氯等腐蚀性物质；气体接触部件（如采样管、阀门）均采用316L电抛光不锈钢，表面粗糙度Ra≤0.1μm，避免颗粒脱落污染气体。

便携与快速响应
仪器重量仅2.8kg，集成电池供电与无线数据传输模块，可由单人携带至洁净室现场检测。响应时间（干到湿）≤120秒，支持在线式连续监测或离线抽检模式。

三、典型应用场景：从气瓶到产线的全链条守护

· 气瓶充装检测：在电子气体充装前，检测气源露点温度，确保符合SEMI C7.3标准（≤-80℃）。

· 管道泄漏排查：通过便携式检测定位气体管道连接处、阀门等潜在泄漏点，避免外部水分渗入。

· 工艺腔体吹扫验证：在晶圆加工前，检测吹扫气体湿度，确认腔体内水分已被彻底置换。

四、结语：数据驱动的半导体制造升级

英国肖氏SADP便携式露点仪通过纳米级湿度检测能力，帮助半导体企业实现电子气体质量的“全生命周期管理”。其工业级设计可适应Class 1洁净室（ISO 1级）环境，成为保障晶圆生产良率的关键设备。随着3D NAND、EUV光刻等先进制程的普及，对电子气体湿度的控制要求将更加严苛，而SADP系列仪器可通过升级激光光谱模块，进一步拓展至0.01ppb检测极限，为下一代半导体技术提供湿度监测解决方案。

英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SADP & SADP-TR是电池操作的便携式露点测量仪，用于抽查或者连续使用，该仪器可以在提供露点温度的直接指示，以及120mm模拟刻度下的百万分之几。
便携式露点仪SADP -D版本执行相同的功能，但是在LED显示中只显示露点。
只要样品气体通过仪器的测试室（头）流动，仪器就可以进行连续读数，并给出气体含水量的读数。在进行抽查时也可以在几分钟之内得到结果。
便携式露点仪SADP 设备使用内部电池，不需要外部电池。这种仪器配有6节“c”大小的电池。在正常的操作中可持续工作超过12个月。
便携式露点仪SADP 独特的测量头设计，使传感器在不使用时保持干燥，使抽查成为一个简单而快速的过程，*少的空气或气体使用。
便携式露点仪SADP 提供的标准配置有一个配有肩带的软垫便携箱，一个对照盘，一个用于自动校准控制的螺丝刀。一把六方扳手，用于装卸电池载体的安全板和两米长的PTFE (Teflon)样品管。便携式露点仪SADP 有多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

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