英国SHAW在线露点仪Superdew 3：高纯气体实验的“水分零容忍卫士”

在半导体制造、光谱分析、气相色谱等高精度实验室场景中，氩气、氮气等高纯气体的纯度是实验结果可靠性的核心保障。然而，气体中微量水分的存在可能引发一系列连锁反应：在光谱实验中，水蒸气会干扰特征谱线检测；在气相色谱中，水分可能导致固定相降解或样品吸附偏差；在半导体工艺气体中，ppm级水分即可引发晶圆表面氧化，造成良率损失。英国SHAW公司推出的英国SHAW在线露点仪Superdew 3，凭借其高精度、快速响应与管路集成能力，成为实验室高纯气体质量控制的“**防线”。

一、技术突破：破解高纯气体监测的“微量级”难题

实验室对气体露点的监测需求远超工业场景，需达到ppm甚至ppb级灵敏度。英国SHAW在线露点仪Superdew 3通过三大核心技术实现突破：

· 高精度传感器：采用SHAW**的Shaw高电容氧化铝传感器，系统精度达±2°C，可稳定检测0.1°C露点波动，对应水分含量低至0.1ppm(v)，满足ICP-MS、GC-MS等**仪器的用气要求；

· 抗交叉干扰设计：通过优化传感器材料与信号处理算法，有效抑制气体中杂质（如油蒸气、颗粒物）对测量结果的干扰，确保数据真实性；

· 极速动态响应：湿至干转换时间<120秒，干至湿转换时间<20秒，实时捕捉气体管路中瞬态湿度变化，避免因气流波动导致的检测盲区。

二、管路集成：从离线检测到全流程监控的“无缝衔接”

英国SHAW在线露点仪Superdew 3专为实验室气体管路设计，提供标准化安装方案：

· 紧凑型设计：体积小巧（尺寸待确认），可直接嵌入气体分配柜或管路分支节点，不占用宝贵实验室空间；

· 多接口兼容：支持1/4英寸、1/2英寸等常见气体管径，配备VCR或卡套接头，实现快速无泄漏安装；

· 智能化输出：提供4-20mA模拟信号与RS485数字接口，可接入实验室信息管理系统（LIMS），与气体纯化装置、质量流量控制器联动，构建自动化气体质量监控网络。

三、实验室场景应用：守护每一组实验数据的“纯净基线”

1. 半导体工艺气体：在CVD、刻蚀等工序中，英国SHAW在线露点仪Superdew 3可实时监测SiH4、NF3等特种气体管路的露点，确保水分含量低于-80°C（对应0.001ppm），防止晶圆表面产生缺陷；

2. 光谱分析实验：在ICP-OES或XRF分析中，仪器可集成至氩气供应管路，动态验证气体纯度，避免水蒸气导致谱线展宽或背景噪声升高；

3. 气相色谱进样系统：通过监测载气（如高纯氮气）露点，防止水分破坏色谱柱固定相，延长耗材寿命并提升分离度。

英国SHAW在线露点仪Superdew 3以“精准、可靠、易集成”为核心优势，为实验室高纯气体构建了一道从管路入口到仪器入口的“全链条水分屏障”。从保障半导体先进制程到提升科研数据可信度，其技术价值正助力实验室突破精度极限，在纳米科技、量子计算等前沿领域实现“零水分干扰”的实验环境，成为现代科研不可或缺的“气体纯净度标尺”。

1. 仪器类型与用途：
   • 类型：单通道在线露点仪  
   • 用途：测量工艺气体和压缩空气中的露点  
2. 外壳与防护：
   • 面板安装外壳防护等级：IP54  
   • 前面板防风雨等级：IP65  
3. 传感器技术：
   • 传感器类型：Shaw超高电容氧化铝传感器  
   • 精度：整体系统精度优于±2°C（±3.6°F）露点
   • 分辨率：0.1°C，0.1°F露点或0.1 ppm(v)
   • 重复性：优于±0.3°C（±0.54°F）露点
4. 测量范围：
   • 紫色范围（P）：-100°C至0°C露点，0-6000 ppm(v)  
   • 银色范围（S）：-100°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v)  
   • 灰色范围（G）：-80°C至0°C露点，0-6000 ppm(v)  
   • 红色范围（R）：-80°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v)  
   • 蓝色范围（BL）：-80°C至+20°C露点，0-23000 ppm(v)  
5. 显示与输出：
   • 显示：五字符LED显示屏，可显示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf  
   • 报警继电器：两个完全可编程的报警继电器  
   • 模拟输出：标配一个隔离的4-20 mA模拟输出，量程可调  
6. 校准与功能：
   • 校准功能：AutoCal校准功能，提供可追溯至国际标准的校准证书  
   • 现场校准：支持现场校准和量程检查  
7. 环境适应性：
   • 工作温度：-20°C至+60°C（-4°F至+140°F）
   • 储存温度：-20°C至+70°C（-4°F至+158°F）
   • 工作湿度：*高95%RH非冷凝
8. 电气特性：
   • 工作电压：90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC
   • 电磁兼容性：符合EN 61326:2006标准  
9. 机械特性：
   • 工作压力：从1 kPa（0.01 barA）到*大值35,000 kPa（350 barA）
   • 探头材料：316不锈钢
   • 传感器保护装置：316烧结不锈钢过滤器，50微米
10. 质保与保修：
    • 质保期：工艺和零件缺陷的12个月

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