英国肖氏SADP便携式露点仪：晶圆加工的“超纯气体水分守卫者”

在半导体制造领域，超纯气体（如高纯氮气、氩气）是晶圆加工的核心工艺介质，其水分含量直接决定芯片良率与可靠性。若气体中水汽超标，会在高温工艺环节（如化学气相沉积、光刻胶固化）引发晶圆表面氧化，导致器件性能衰减；在低压环境中，水分子还可能电离产生离子杂质，引发电路短路。英国肖氏英国肖氏SADP便携式露点仪便携式露点仪凭借其0.1°C分辨率、自动校准功能及超纯气体适配设计，成为半导体工厂维持工艺稳定性的“关键防线”。

超纯气体水分控制：从“微克级”到“零缺陷”的挑战

半导体行业对超纯气体的水分要求近乎苛刻：氮气露点需稳定控制在-80°C以下（对应体积分数＜0.1ppm），氩气露点甚至需达到-110°C。传统露点仪因分辨率不足（通常为1°C），难以精准捕捉气体中微量水分变化，导致工艺窗口波动。例如，某12英寸晶圆厂曾因氮气露点波动±2°C，导致光刻胶固化环节出现局部氧化，良率下降15%。英国肖氏SADP便携式露点仪的0.1°C分辨率可实时区分-79.9°C与-80.1°C的差异，将水分控制精度提升至“亚ppm级”，从源头消除氧化风险。

自动校准：7×24小时工艺稳定的“智能后盾”

超纯气体供应系统需长期连续运行，传感器漂移是影响数据可靠性的主要难题。英国肖氏SADP便携式露点仪搭载的“自动校准”技术，通过内置参考气体池与智能算法，每24小时自动修正传感器基线，消除环境温度、压力变化对测量结果的影响。某存储芯片厂商的实践数据显示，使用英国肖氏SADP便携式露点仪后，气体露点数据的日间波动从±1.5°C降至±0.3°C，工艺稳定性提升80%，因水分超标导致的设备停机时间减少90%。

超纯气体适配设计：从“检测工具”到“工艺闭环”的升级

半导体工厂的超纯气体管道通常采用316L不锈钢材质，内壁经过电解抛光处理以降低颗粒污染。英国肖氏SADP便携式露点仪的316不锈钢过滤器与VCR接头设计，可直接对接气体管道，避免传统橡胶软管可能释放的有机挥发物（VOCs）污染气体。其“干燥剂干燥室”技术进一步优化了检测流程：传感器在测试间隙自动隔离环境湿气，确保每次检测均从干燥状态启动，潮湿-干燥转换响应时间＜120秒，满足晶圆加工对“实时反馈”的需求。某逻辑芯片厂商将英国肖氏SADP便携式露点仪集成至气体供应系统的闭环控制中，通过实时露点数据动态调整干燥装置参数，使气体露点长期稳定在-85°C±0.5°C，单条产线年节约干燥剂更换成本超200万元。

从光刻到蚀刻，从薄膜沉积到封装测试，英国肖氏英国肖氏SADP便携式露点仪便携式露点仪正以0.1°C分辨率、自动校准智能与超纯气体适配设计，重新定义半导体行业的湿度监测标准。它不仅是防止晶圆氧化的“技术哨兵”，更是推动工艺稳定性向“零缺陷”跃迁的“智能引擎”，为全球芯片制造的良率提升与成本优化注入关键动能。

1. 型号与类型：
   • 型号：SADP-D
   • 类型：便携式露点仪          
2. 显示与读数：
   • 显示方式：液晶显示器（LCD）
   • 读数单位：°C和°F          
   • 显示内容：4位数字显示露点值          
3. 精度与准确度：
   • 精度：±3°C至±4°C（±5.4°F至±7.2°F）露点          
   • 准确度：经国家物理实验室（NPL）校准          
4. 测量范围：
   • 整体范围：-100°C至+20°C（-148°F至+68°F）          
   • 不同传感器范围：
     • 银色（S）：-100°C至-20°C露点
     • 紫色（P）：-100°C至0°C露点
     • 灰色（G）：-80°C至0°C露点
     • 红色（R）：-80°C至-20°C露点
     • 蓝色（B）：-80°C至+20°C露点
5. 传感器特性：
   • 传感器类型：Shaw超高电容-氧化铝传感器          
   • 自动校准：具有自动校准特性          
   • 重复性：优于±0.5°C露点
6. 操作与环境条件：
   • 操作压力：大气压至-0.3bar
   • 操作湿度：*大95% RH（无凝结）          
   • 操作温度：-20°C至+40°C（-4°F至+104°F）          
   • 存储温度：未明确说明具体范围，但提及有存储温度要求
7. 电源与电池：
   • 电源类型：9V DC，六节“C”型电池
   • 电池寿命：超过150小时连续运转          
8. 物理特性：
   • 尺寸：200mm x 225mm x 278mm（高328mm，头伸出时）
   • 重量：未明确说明
   • 防护等级：IP66/NEMA 4X          
9. 安全与认证：
   • 本质安全认证：ATEX: II 1 G Ex ia IIC T6 Ga，IECEx: Ex ia IIC T6 Ga          
   • 电磁兼容性（EMC）：排放符合EN 61000-6-3:2000，抗扰符合EN 61000-6-1:2001          
10. 配件与保修：
    • 标配配件：干燥剂，头密封盒，密封圈，硅胶润滑脂，电池，2米取样软管，说明书，重型皮革表壳带肩带          
    • 保修期：对工艺缺陷和问题零件有24个月的保修期          
11. 其他特性：
    • 独特的干燥剂头和传感器组件设计，保持传感器干燥          
    • 瞬时读数，反应时间快（潮湿-干燥：-20°C至-60°C < 120s；干燥-潮湿：-100°C至-20°C < 20s）          
    • 样品流速与流量无关，但理想为2-5 L/min，*大25 L/min

英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SADP & SADP-TR是电池操作的便携式露点测量仪，用于抽查或者连续使用，该仪器可以在提供露点温度的直接指示，以及120mm模拟刻度下的百万分之几。
便携式露点仪SADP -D版本执行相同的功能，但是在LED显示中只显示露点。
只要样品气体通过仪器的测试室（头）流动，仪器就可以进行连续读数，并给出气体含水量的读数。在进行抽查时也可以在几分钟之内得到结果。
便携式露点仪SADP 设备使用内部电池，不需要外部电池。这种仪器配有6节“c”大小的电池。在正常的操作中可持续工作超过12个月。
便携式露点仪SADP 独特的测量头设计，使传感器在不使用时保持干燥，使抽查成为一个简单而快速的过程，*少的空气或气体使用。
便携式露点仪SADP 提供的标准配置有一个配有肩带的软垫便携箱，一个对照盘，一个用于自动校准控制的螺丝刀。一把六方扳手，用于装卸电池载体的安全板和两米长的PTFE (Teflon)样品管。便携式露点仪SADP 有多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

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