英国SHAW在线露点仪Superdew 3：护航薄膜太阳能电池化学气相沉积工艺的干燥卫士

在非晶硅、碲化镉、铜铟镓硒（CIGS）等薄膜太阳能电池的化学气相沉积（CVD）生产线上，工艺气体（如硅烷、氩气）的纯度与干燥度直接决定了薄膜质量与电池性能。水分作为关键污染物，哪怕微量存在也会引发薄膜缺陷、针孔等问题，导致电池转换效率骤降、成品率大幅下滑。因此，实时、精准地监测工艺气体露点，确保高纯度干燥气体的稳定供应，成为保障薄膜太阳能电池产业高效生产的必要前提。英国SHAW品牌的Superdew 3在线露点仪，凭借其**的技术性能，成为这一领域不可或缺的“干燥卫士”。

精准监测，杜绝水分污染

Superdew 3采用Shaw高电容氧化铝传感器，结合高精度数字电子技术，可实现对工艺气体露点的实时、精准测量，系统整体精度优于±2°C，即使在极低露点环境下（如-80°C至-60°C的硅烷气体干燥需求），也能稳定提供可靠数据。这一特性使得生产线能够及时发现气体中的水分波动，避免因露点超标导致薄膜沉积过程中出现针孔、层间剥离等缺陷，从而保障电池的光电转换效率。

宽量程覆盖，适应多元工艺需求

针对薄膜太阳能电池CVD工艺中不同气体的露点要求，Superdew 3提供多量程传感器选项：

· 蓝色（BL）传感器：覆盖-80°C至+20°C，适用于硅烷等需深度干燥的气体；

· 灰色（G）传感器：覆盖-80°C至0°C，满足氩气等载气的常规干燥需求。
用户可根据实际工艺条件灵活选择，并通过五字符LED显示屏直观读取露点数据（单位可选°C、°F、ppm(v)），实现生产过程的精细化控制。

稳定可靠，保障连续生产安全

在CVD生产线的连续运行中，Superdew 3的双报警继电器与隔离4-20 mA模拟输出设计，确保了异常情况的及时响应。一旦气体露点超出安全阈值，系统会立即产生响应并输出控制信号，防止水分污染扩散至沉积腔室。同时，其电磁兼容性符合EN 61326:2006标准，抗干扰能力强，可在复杂工业环境中稳定运行，为薄膜太阳能电池的高成品率生产提供可靠保障。

英国SHAW在线露点仪Superdew 3通过精准监测、宽量程覆盖与稳定可靠的性能，成为薄膜太阳能电池CVD工艺中不可或缺的质量控制工具。其应用不仅有效降低了水分污染风险，提升了电池转换效率与成品率，更为光伏产业的高效、可持续发展提供了坚实的技术支撑。

1. 仪器类型与用途：
   • 类型：单通道在线露点仪 
   • 用途：测量工艺气体和压缩空气中的露点 
2. 外壳与保护：
   • 面板安装外壳防护等级：IP54（部分描述为IP65前面板，以IP65为准进行总结） 
3. 传感器技术：
   • 传感器类型：Shaw超高电容氧化铝传感器 
   • 精度：整体系统精度优于±2°C（±3.6°F）露点 
   • 分辨率：0.1°C，0.1°F露点或0.1 ppm(v)
   • 重复性：优于±0.3°C（±0.54°F）露点
4. 测量范围：
   • 紫色（P）传感器范围：-100°C至0°C露点，0-6000 ppm(v) 
   • 银色（S）传感器范围：-100°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v) 
   • 灰色（G）传感器范围：-80°C至0°C露点，0-6000 ppm(v) 
   • 红色（R）传感器范围：-80°C至-20°C露点，0-1000 ppm(v) 
   • 蓝色（BL）传感器范围：-80°C至+20°C露点，0-23000 ppm(v) 
5. 显示与输出：
   • 显示：五字符LED显示屏，可显示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf 
   • 报警继电器：两个完全可编程的报警继电器 
   • 模拟输出：标配一个隔离的4-20 mA模拟输出，量程可调 
6. 校准与证书：
   • 校准方式：自动校准和现场校准/量程检查设施
   • 校准证书：可追溯至国家物理实验室（NPL） 
7. 环境适应性：
   • 工作温度：-20°C至+60°C（-4°F至+140°F）
   • 储存温度：-20°C至+70°C（-4°F至+158°F）
   • 工作湿度：*高95%RH非冷凝（外部）
8. 电气特性：
   • 工作电压：90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC
   • 电磁兼容性：符合EN 61326:2006
9. 机械特性：
   • 工作压力：从1 kPa（0.01 barA）到*大值35,000 kPa（350 barA）
   • 探头材料：316不锈钢
   • 传感器保护装置：316烧结不锈钢过滤器-50微米
10. 质保与保修：
    • 质保期：工艺和零件缺陷的12个月

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