英国SHAW便携式露点仪Superdew 3：超净车间气体干燥度的“精密卫士”

在半导体晶圆加工、光刻、蚀刻等超净车间中，工艺气体（如高纯氮、氩气、氦气）及包围敏感设备的干燥空气的露点控制，是防止产品氧化、避免工艺缺陷的核心环节。微米级甚至纳米级的湿气侵入，都可能导致晶圆表面氧化、光刻胶失效或蚀刻均匀性偏差，*终造成良率损失。英国SHAW公司推出的英国SHAW便携式露点仪Superdew 3便携式露点仪，凭借其ppb级检测精度、快速响应速度及工业级可靠性，成为超净车间气体露点监测的“黄金标准”，为半导体制造提供全流程湿度防护。

一、超净车间湿度控制：半导体制造的“隐形关卡”

晶圆加工：防止氧化层缺陷
在单晶硅生长、化学气相沉积（CVD）等环节，高纯氮气或氩气作为保护气体，其露点需稳定低于-80°C（ppb级水分）。若湿度超标，水蒸气会与硅表面反应生成氧化层，导致后续光刻图案转移失败。英国SHAW便携式露点仪Superdew 3的蓝色量程（-80°C至+20°C）可精准捕捉微量水分，确保工艺气体含水量低于0.1ppm(v)。

光刻工艺：保障光刻胶稳定性
光刻机内部需维持-70°C以下的干燥环境，以防止光刻胶吸湿膨胀或变形。英国SHAW便携式露点仪Superdew 3的灰色量程（-80°C至0°C）支持实时监测包围设备的气体露点，结合其5秒预热与120秒内湿至干响应能力，可快速反馈湿度波动，避免因水分侵入导致的曝光偏移或线宽失控。

蚀刻工艺：控制反应均匀性
在等离子蚀刻中，氦气或氟碳气体中的水分会改变等离子体化学活性，导致侧壁粗糙度超标。英国SHAW便携式露点仪Superdew 3的红色量程（-80°C至-20°C）专为低温气体设计，其±0.3°C重复性可确保蚀刻气体露点波动小于±1°C，保障关键尺寸（CD）精度。

二、技术优势：精准、灵活、可靠

· 多量程传感器矩阵：提供紫色（-100°C至0°C）、银色（-100°C至-20°C）等五种量程，覆盖半导体全工艺链需求。

· 工业级防护设计：IP65前面板与316不锈钢探头，耐受Class 1洁净室化学腐蚀环境，支持7×24小时连续运行。

· 智能化集成能力：标配4-20mA输出与Modbus协议，可无缝对接SECS/GEM系统，实现露点数据实时上传与报警联动。

三、应用场景：从气柜到机台的全链路覆盖

· 气柜端监测：检测高纯气体钢瓶/管束车出口露点，确保入厂气体质量。

· 配气系统监控：验证混合气体（如Ar/Cl₂）干燥单元效率，防止交叉污染。

· 机台级防护：在光刻机、蚀刻机进气口部署英国SHAW便携式露点仪Superdew 3，实现露点超标自动切断供气。

在半导体制造向5nm及以下制程迈进的背景下，英国SHAW便携式露点仪Superdew 3以ppb级检测能力、快速响应速度及SEMI标准兼容性，成为超净车间气体湿度控制的“****”。其不仅帮助晶圆厂提升良率、降低返工成本，更为先进封装、EUV光刻等前沿技术提供基础保障，助力中国半导体产业突破“湿度壁垒”，迈向全球价值链**。

英国SHAW在线露点仪SuperDew 3是一款高精度、可重复使用的单通道在线露点仪，专为测量工艺气体和压缩空气中的露点而设计。

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