英国SHAW便携式露点仪SADP：高纯电子气体质量验证的“精密卫士”

在高纯电子级特种气体（如硅烷、磷烷、氨气）及标准气体制备与灌装领域，气体中的微量水分是决定产品纯度与性能的关键杂质。

若水分含量超标，不仅会导致半导体材料表面缺陷、影响器件电学性能，还可能引发化学反应导致气体变质。在此背景下，英国SHAW便携式露点仪SADP凭借其高精度、快速响应和便携性，成为*终产品质量验证和批次抽样检测的核心工具。

一、水分控制：电子气体质量的“生命线”

高纯电子气体对水分含量的要求极为严苛。例如，硅烷（SiH₄）中的水分会与硅烷反应生成硅氧烷杂质，磷烷（PH₃）中的水分可能导致磷的氧化，而氨气（NH₃）中的水分会形成腐蚀性溶液，直接威胁半导体制造工艺的稳定性。标准气体的制备同样需要严格控制水分，以确保其作为校准标准的可靠性。因此，露点仪的测量精度和响应速度直接决定了产品质量控制的水平。

二、英国SHAW便携式露点仪SADP：精准与高效的**结合

英国SHAW便携式露点仪SADP专为现场快速检测设计，其核心优势在于：

1. 高精度测量：采用电容式传感器技术，可直接显示露点温度（℃）和水分含量（ppm），测量范围覆盖-80℃至+20℃，满足电子气体极低露点（通常＜-60℃）的检测需求。

2. 快速响应：独特的干燥剂保护设计使传感器在不使用时保持干燥，测量时仅需数秒即可稳定读数，大幅缩短检测周期。

3. 便携性与安全性：内置电池供电，配备抗静电手提箱，适用于危险区域（符合ATEX/IECEx认证），可直接在灌装线或储罐旁进行无损检测。

4. 操作简便：通过旋转开关选择量程，配合PTFE取样管和推入式连接头，无需复杂培训即可完成检测。

三、应用场景：从制备到灌装的全流程控制

1. 批次抽样检测：在气体灌装前，使用SADP对钢瓶或储罐中的气体进行抽样，验证水分含量是否符合标准（如SEMI标准对硅烷露点的要求）。

2. 在线质量监控：通过快速检测反应釜或纯化装置出口的气体露点，实时调整干燥工艺参数（如吸附剂再生温度）。

3. 故障排查：当气体纯度不达标时，SADP可快速定位问题环节（如吸附柱失效或管道冷凝），避免批量质量事故。

四、案例：某半导体厂的标准气体灌装优化

某企业曾因标准气体中水分超标导致客户投诉，引入英国SHAW便携式露点仪SADP后，通过以下措施实现质量提升：

· 批次检测：每灌装20瓶气体抽检1瓶，露点数据自动记录至LIMS系统。

· 工艺优化：发现干燥剂更换周期过长导致水分穿透，调整后产品合格率从92%提升至99.8%。

· 成本节约：减少因质量不合格导致的返工和客户索赔，年节约成本超50万元。

五、结语：技术赋能，守护“气体纯度”

在高纯电子气体行业，SADP便携式露点仪不仅是质量控制的“检测工具”，更是企业提升竞争力的“技术杠杆”。其精准、高效、安全的特性，为半导体制造、光伏产业等**领域提供了可靠的气体质量保障，助力中国“芯”制造迈向更高水平。

1. 型号与类型：
   • 型号：SADP-D
   • 类型：便携式露点仪   
2. 显示与读数：
   • 显示方式：液晶显示器（LCD）
   • 读数单位：°C和°F   
   • 显示内容：4位数字显示露点值   
3. 精度与准确度：
   • 精度：±3°C至±4°C（±5.4°F至±7.2°F）露点   
   • 准确度：经国家物理实验室（NPL）校准   
4. 测量范围：
   • 整体范围：-100°C至+20°C（-148°F至+68°F）   
   • 不同传感器范围：
     • 银色（S）：-100°C至-20°C露点
     • 紫色（P）：-100°C至0°C露点
     • 灰色（G）：-80°C至0°C露点
     • 红色（R）：-80°C至-20°C露点
     • 蓝色（B）：-80°C至+20°C露点
5. 传感器特性：
   • 传感器类型：Shaw超高电容-氧化铝传感器   
   • 自动校准：具有自动校准特性   
   • 重复性：优于±0.5°C露点
6. 操作与环境条件：
   • 操作压力：大气压至-0.3bar
   • 操作湿度：*大95% RH（无凝结）   
   • 操作温度：-20°C至+40°C（-4°F至+104°F）   
   • 存储温度：未明确说明具体范围，但提及有存储温度要求
7. 电源与电池：
   • 电源类型：9V DC，六节“C”型电池
   • 电池寿命：超过150小时连续运转   
8. 物理特性：
   • 尺寸：200mm x 225mm x 278mm（高328mm，头伸出时）
   • 重量：未明确说明
   • 防护等级：IP66/NEMA 4X   
9. 安全与认证：
   • 本质安全认证：ATEX: II 1 G Ex ia IIC T6 Ga，IECEx: Ex ia IIC T6 Ga   
   • 电磁兼容性（EMC）：排放符合EN 61000-6-3:2000，抗扰符合EN 61000-6-1:2001   
10. 配件与保修：
    • 标配配件：干燥剂，头密封盒，密封圈，硅胶润滑脂，电池，2米取样软管，说明书，重型皮革表壳带肩带   
    • 保修期：对工艺缺陷和问题零件有24个月的保修期   
11. 其他特性：
    • 独特的干燥剂头和传感器组件设计，保持传感器干燥   
    • 瞬时读数，反应时间快（潮湿-干燥：-20°C至-60°C < 120s；干燥-潮湿：-100°C至-20°C < 20s）   
    • 样品流速与流量无关，但理想为2-5 L/min，*大25 L/min

英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SADP & SADP-TR是电池操作的便携式露点测量仪，用于抽查或者连续使用，该仪器可以在提供露点温度的直接指示，以及120mm模拟刻度下的百万分之几。
便携式露点仪SADP -D版本执行相同的功能，但是在LED显示中只显示露点。
只要样品气体通过仪器的测试室（头）流动，仪器就可以进行连续读数，并给出气体含水量的读数。在进行抽查时也可以在几分钟之内得到结果。
便携式露点仪SADP 设备使用内部电池，不需要外部电池。这种仪器配有6节“c”大小的电池。在正常的操作中可持续工作超过12个月。
便携式露点仪SADP 独特的测量头设计，使传感器在不使用时保持干燥，使抽查成为一个简单而快速的过程，*少的空气或气体使用。
便携式露点仪SADP 提供的标准配置有一个配有肩带的软垫便携箱，一个对照盘，一个用于自动校准控制的螺丝刀。一把六方扳手，用于装卸电池载体的安全板和两米长的PTFE (Teflon)样品管。便携式露点仪SADP 有多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

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