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美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II:超净间与芯片制造的湿度控制守护者

日期:2025-11-26 19:39
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摘要: 在超净间与芯片制造领域,工艺环境的干燥度对成品率有着决定性影响。 微小的水汽渗透都可能导致晶圆氧化、图案失真,进而造成成品率大幅下滑。为此,美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II,凭借其稳定的精度与稳定性,成为**控制超干燥工艺环境的理想工具。 美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II是一款基于冷镜原理的高精度露点/霜点及湿度传感器,已通过国际权威的ISO/IEC 17025:2017与ISO 9001:2015认证,确保了测量数据的准确性与可靠性。 在芯片制造的关键环节,如化学气相沉...


在超净间与芯片制造领域,工艺环境的干燥度对成品率有着决定性影响。

微小的水汽渗透都可能导致晶圆氧化、图案失真,进而造成成品率大幅下滑。为此,美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II,凭借其稳定的精度与稳定性,成为**控制超干燥工艺环境的理想工具。



美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II是一款基于冷镜原理的高精度露点/霜点及湿度传感器,已通过国际权威的ISO/IEC 17025:2017与ISO 9001:2015认证,确保了测量数据的准确性与可靠性。

在芯片制造的关键环节,如化学气相沉积(CVD)、光刻、蚀刻等工艺中,美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II能够持续、稳定地监测工艺气体中的水汽含量,有效防止因湿度超标引发的晶圆氧化问题。

该设备测量范围广泛,D传感器探头标准露/霜点范围覆盖-20°C至65°C,而高性能的DX传感器探头则可扩展至-40°C至60°C,满足超净间与芯片制造对极端干燥环境的需求。在精度方面,美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II表现稳定,露/霜点测量标准精度达±0.2°C,更可选配±0.1°C的高精度选项,确保对微小水汽变化的敏锐捕捉。

其快速响应特性同样令人瞩目,1°C/秒的响应速度能够即时反映工艺气体湿度的变化,为控制系统提供及时、准确的数据支持。此外,美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II支持从静态到3000线性英尺/分钟的流速范围,灵活适应不同工艺设备的需求。

在安装与输出方面,美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II提供了丰富的选项。

传感器可本地或远程安装于工艺管道关键位置,实时传输数据至中央控制系统。其模拟输出与串行接口,以及可编程报警功能,能够在湿度异常时立即触发警报,助力工程师迅速响应,避免潜在的生产风险。

总之,美国EdgeTech冷镜露点仪DewTrak II以其高精度、高响应性与灵活性,成为超净间与芯片制造领域湿度控制的得力助手,为提升成品率、保障工艺质量提供了坚实的技术支撑。

美国EdgeTech露点仪DewTrak II是一款精密的露点/霜点及湿度传感器,专为工业及过程应用设计,具备ISO/IEC 17025:2017认证和ISO 9001:2015注册资质。

该设备采用**方法冷镜原理,无需校准即可提供高精度的水汽浓度测量,确保长期稳定性和重复性。 
其测量范围广泛,D传感器探头标准露/霜点范围为-20°C至65°C,可选配空气温度范围-40°C至70°C及相对湿度5%至90%;而DX传感器探头则提供更宽的露/霜点范围-40°C至60°C,内部空气温度传感器与露/霜点同范围,相对湿度同样为5%至90%。在精度方面,露/霜点测量标准精度为±0.2°C,可选更高精度±0.1°C,温度精度±0.1°C,响应时间迅速,达到1°C/秒(不包括稳定时间),并支持从静态到3000线性英尺/分钟的流速。 
设备配备灵活的输出选项,包括2路模拟输出(4-20mA, 0-5Vdc或0-10Vdc)和1路RS-232串行接口,以及2个可编程报警继电器,用于清洁镜面和服务锁定警报。传感器可本地或远程安装,适应多种环境,如HVAC管道系统、手套箱环境室、制药测试隔离室等。 
此外,DewTrak II还提供多种显示参数选项,包括露/霜点温度、相对湿度、体积和重量百万分率等,且设备设计紧凑、耐用,重量仅3磅,控制器尺寸为5英寸x5英寸x4英寸,具备防水外壳,确保在各种恶劣条件下稳定运行


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