英国SHAW在线露点仪SADP：芯片制造中高纯度气体的“湿度守门人”

在芯片制造的精密世界里，微米级的工艺误差都可能引发产品报废，而水分作为“隐形杀手”，其危害尤为致命。电路腐蚀、金属氧化、材料分层……这些由微量水分引发的缺陷，往往直接导致芯片良品率断崖式下跌。为确保生产环境的绝对纯净，高纯度工艺气体（如氮气、氩气）的露点需严格控制在-80°C以下，甚至达到-100°C的极端水平。英国SHAW公司推出的SADP系列在线露点仪，凭借其低温量程、本质安全设计及纳米级精度，成为芯片行业守护气体纯度的核心工具。

低温量程：直面芯片制造的极限挑战

芯片制造对气体露点的要求近乎苛刻。例如，在光刻工艺中，氮气露点需低于-80°C，以防止光刻胶因水分膨胀导致图案变形；在化学气相沉积（CVD）环节，氩气露点若高于-90°C，可能引发金属薄膜氧化，造成电路短路。英国SHAW在线露点仪SADP的银色传感器量程覆盖-100°C至-20°C，可准确监测此类低温气体环境。其±3°C的精度与0.1°C分辨率，能捕捉到0.001%级别的湿度变化，相当于在标准大气压下检测到单分子层水分，为芯片制造提供了“分子级”的湿度控制能力。

本质安全与抗污染设计：适配无尘车间严苛环境

芯片生产车间对设备清洁度要求极高，任何颗粒污染都可能破坏晶圆表面。英国SHAW在线露点仪SADP采用全封闭式不锈钢外壳与IP66防护等级，可有效阻挡0.3微米以上的粉尘侵入；其本质安全型设计通过ATEX II 1G Ex ia IIC T6 Ga认证，即使在高浓度易燃气体环境中也能稳定运行，避免因电火花引发爆炸风险。此外，设备配备的PTFE取样软管与HEPA过滤接头，可进一步过滤气体中的微粒，确保监测数据不受污染干扰。

智能校准与远程监控：提升产线运维效率

英国SHAW在线露点仪SADP支持现场快速校准功能，操作人员仅需通过设备面板电位器即可完成，校准时间缩短至10分钟以内，大幅降低产线停机成本。其通信接口可无缝接入工厂自动化系统，随时上传露点数据至中央控制室，配合SHAW专属软件生成趋势分析报告，帮助工程师提前预判干燥设备性能衰减。在存储环节，英国SHAW在线露点仪SADP的9V电池供电模式（支持150小时连续运行）与便携设计，使其成为仓库环境监测的理想工具，确保芯片长期存储于-80°C露点的干燥环境中。

在芯片制造向5nm、3nm制程迈进的背景下，英国SHAW在线露点仪SADP以低温量程、本质安全与智能集成三大核心优势，为产业筑起了一道坚实的湿度防线。其助力企业将工艺气体露点稳定控制在-90°C以下，将因水分导致的芯片报废率从行业平均的2%降至0.05%以下，为**芯片的量产与品质提升提供了关键保障。

1. 型号与类型：
   • 型号：SADP-D
   • 类型：便携式露点仪 
2. 显示与读数：
   • 显示方式：液晶显示器（LCD）
   • 读数单位：°C和°F 
   • 显示内容：4位数字显示露点值 
3. 精度与准确度：
   • 精度：±3°C至±4°C（±5.4°F至±7.2°F）露点 
   • 准确度：经国家物理实验室（NPL）校准 
4. 测量范围：
   • 整体范围：-100°C至+20°C（-148°F至+68°F） 
   • 不同传感器范围：
     • 银色（S）：-100°C至-20°C露点
     • 紫色（P）：-100°C至0°C露点
     • 灰色（G）：-80°C至0°C露点
     • 红色（R）：-80°C至-20°C露点
     • 蓝色（B）：-80°C至+20°C露点
5. 传感器特性：
   • 传感器类型：Shaw超高电容-氧化铝传感器 
   • 自动校准：具有自动校准特性 
   • 重复性：优于±0.5°C露点
6. 操作与环境条件：
   • 操作压力：大气压至-0.3bar
   • 操作湿度：*大95% RH（无凝结） 
   • 操作温度：-20°C至+40°C（-4°F至+104°F） 
   • 存储温度：未明确说明具体范围，但提及有存储温度要求
7. 电源与电池：
   • 电源类型：9V DC，六节“C”型电池
   • 电池寿命：超过150小时连续运转 
8. 物理特性：
   • 尺寸：200mm x 225mm x 278mm（高328mm，头伸出时）
   • 重量：未明确说明
   • 防护等级：IP66/NEMA 4X 
9. 安全与认证：
   • 本质安全认证：ATEX: II 1 G Ex ia IIC T6 Ga，IECEx: Ex ia IIC T6 Ga 
   • 电磁兼容性（EMC）：排放符合EN 61000-6-3:2000，抗扰符合EN 61000-6-1:2001 
10. 配件与保修：
    • 标配配件：干燥剂，头密封盒，密封圈，硅胶润滑脂，电池，2米取样软管，说明书，重型皮革表壳带肩带 
    • 保修期：对工艺缺陷和问题零件有24个月的保修期 
11. 其他特性：
    • 独特的干燥剂头和传感器组件设计，保持传感器干燥 
    • 瞬时读数，反应时间快（潮湿-干燥：-20°C至-60°C < 120s；干燥-潮湿：-100°C至-20°C < 20s） 
    • 样品流速与流量无关，但理想为2-5 L/min，*大25 L/min

英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SADP & SADP-TR是电池操作的便携式露点测量仪，用于抽查或者连续使用，该仪器可以在提供露点温度的直接指示，以及120mm模拟刻度下的百万分之几。
便携式露点仪SADP -D版本执行相同的功能，但是在LED显示中只显示露点。
只要样品气体通过仪器的测试室（头）流动，仪器就可以进行连续读数，并给出气体含水量的读数。在进行抽查时也可以在几分钟之内得到结果。
便携式露点仪SADP 设备使用内部电池，不需要外部电池。这种仪器配有6节“c”大小的电池。在正常的操作中可持续工作超过12个月。
便携式露点仪SADP 独特的测量头设计，使传感器在不使用时保持干燥，使抽查成为一个简单而快速的过程，*少的空气或气体使用。
便携式露点仪SADP 提供的标准配置有一个配有肩带的软垫便携箱，一个对照盘，一个用于自动校准控制的螺丝刀。一把六方扳手，用于装卸电池载体的安全板和两米长的PTFE (Teflon)样品管。便携式露点仪SADP 有多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

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