英国SHAW便携式露点仪SADP：集成电路洁净室湿度控制的“精密卫士”

在集成电路制造领域，洁净室湿度控制是保障芯片良率的核心环节。作为全球ling先露点仪品牌，英国SHAW推出的便携式露点仪SADP凭借其ppm级检测精度与本质安全设计，成为全球半导体企业维持低湿度环境、预防ESD的关键工具。当环境湿度超过1%RH（露点≈-60°C）时，静电放电（ESD）风险将急剧上升，可能导致晶圆表面电路击穿、金属互连层腐蚀等灾难性故障。

低湿度控制：集成电路制造的“生命线”
集成电路制造对湿度极为敏感。当洁净室湿度超过1%RH时，静电荷易在绝缘材料表面积累，形成高压电场。例如，在光刻工序中，若晶圆表面静电电压超过500V，可能直接击穿纳米级电路；在封装环节，静电放电引发的电弧温度可达数千摄氏度，导致金属引线熔断。某12英寸晶圆厂曾因湿度波动导致ESD事件频发，良率下降12%，年损失超亿元。

英国SHAW便携式露点仪SADP：ppm级检测的“技术利器”
英国SHAW便携式露点仪SADP专为低湿度环境设计，其核心优势包括：
1.宽量程与高准确度：支持-100°C至+20°C露点测量，精度达±3°C，可准确捕捉空气中低至1ppb的水分含量。在某7nm制程芯片项目中，英国SHAW便携式露点仪SADP仪器随时监测洁净室湿度，确保露点稳定≤-65°C，成功拦截3批次含水量超标的压缩空气。
2.快速响应与防爆设计：1秒级响应速度搭配ATEX II 1G Ex ia IIC T6 Ga认证，可直接部署于光刻机、蚀刻机等核心设备附近。某半导体企业通过SADP发现洁净室湿度异常升高，提前2小时预警除湿系统故障，避免产线停机。
3.便携与长续航：内置电池支持连续运行150小时，配备2米PTFE采样管，可快速连接洁净室风管进行现场检测。在某存储芯片项目中，SADP被用于监测Class 1级洁净室湿度，当检测到露点接近-60°C时，系统自动启动转轮除湿机，将ESD事件率降低95%。

实际应用：从“被动抢修”到“主动预防”
某先进制程芯片厂引入英国SHAW便携式露点仪SADP后，在光刻区、蚀刻区等关键工序部署仪器，随时监测湿度并联动除湿系统。项目实施后，ESD导致的晶圆报废率从0.8%降至0.05%，年节约成本超3000万元。同时，SADP的自动校准功能（准确度±2°C露点）减少了人工校准频次，运维效率提升40%。

英国SHAW便携式露点仪SADP以“ppb级感知、秒级响应”的技术优势，重新定义了集成电路制造湿度管理的标准。其不仅帮助企业降低ESD风险、提升良率，更通过动态监测与数据分析，推动半导体行业向智能化、预防性维护转型。在芯片制程持续缩小的背景下，英国SHAW便携式露点仪SADP已成为保障低湿度环境、守护芯片制造安全的“隐形盾牌”。

英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SADP & SADP-TR是电池操作的便携式露点测量仪，用于抽查或者连续使用，该仪器可以在提供露点温度的直接指示，以及120mm模拟刻度下的百万分之几。
便携式露点仪SADP -D版本执行相同的功能，但是在LED显示中只显示露点。
只要样品气体通过仪器的测试室（头）流动，仪器就可以进行连续读数，并给出气体含水量的读数。在进行抽查时也可以在几分钟之内得到结果。
便携式露点仪SADP 设备使用内部电池，不需要外部电池。这种仪器配有6节“c”大小的电池。在正常的操作中可持续工作超过12个月。
便携式露点仪SADP 独特的测量头设计，使传感器在不使用时保持干燥，使抽查成为一个简单而快速的过程，*少的空气或气体使用。
便携式露点仪SADP 提供的标准配置有一个配有肩带的软垫便携箱，一个对照盘，一个用于自动校准控制的螺丝刀。一把六方扳手，用于装卸电池载体的安全板和两米长的PTFE (Teflon)样品管。便携式露点仪SADP 有多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

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