英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX守护纯净防线

在5纳米芯片制造的“纳米战场”上，一粒水分子都可能成为摧毁良率的“隐形killer”。当洁净室环境露点超过-60℃时，水蒸气会凝结为液态水，引发金属氧化、光刻胶失效或电介质层短路，导致单片晶圆损失超百万元。在此背景下，英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX凭借其-100℃td低露点测量能力、±2℃高准确度及响应速度，成为芯片企业验证超纯气体湿度、确保工艺精度的“核心**”。英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX守护纯净防线

超纯气体：芯片制造的“生命线”与“脆弱点”

芯片生产中，氮气、氩气等超纯气体贯穿光刻、蚀刻、沉积等关键工序。例如，光刻工艺需将环境露点控制在-70℃以下，若氮气中水分超标，光刻胶会因吸湿膨胀导致图案分辨率下降；金属沉积时，水蒸气会与铝、铜等材料反应生成氧化物，使薄膜电阻率飙升30%。某12英寸晶圆厂曾因空调系统除湿模块故障，导致光刻车间湿度在3小时内从35%RH飙升至58%RH，价值2.3亿元的7nm芯片全部出现“边缘模糊”缺陷，直接暴露了超纯气体湿度控制的极端重要性。英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX守护纯净防线

英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX：突破技术极限的“分子级哨兵”

英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX采用氧化铝电容传感器，在-100℃至+20℃露点范围内实现±2℃测量精度，可捕捉0.001ppmv的水蒸气浓度变化。其**设计的微流道传感器实现0.1秒气体置换，能随时追踪FFU（风机过滤单元）下方、回风口等关键位置的湿度瞬变。例如，某存储芯片厂商在洁净室巡检中发现，某台FFU下方湿度比其他区域高3%RH，经英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX检测发现是过滤器密封条老化导致。技术人员更换密封条后，湿度从-65℃露点恢复至-70℃，晶圆电性失效率从0.8%降至0.05%，年节约返工成本超2000万元。英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX守护纯净防线

从实验室到产线：全场景湿度管控解决方案

英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX的便携设计支持对洁净室各区域进行移动式检测，其IP66防护等级与316L不锈钢探头可耐受Cl₂、HF等腐蚀性气体与高纯气体冲刷，满足ISO 14644-1 Class 1级洁净室标准。设备内置区块链存证功能，助力企业通过SEMI S2安全认证，满足车规级芯片生产要求。在台积电台湾工厂的实测中，工程师通过随时监测EUV光刻车间的湿度波动，将环境露点稳定控制在-70℃以下，使光刻分辨率偏差从3.2nm降至0.8nm，关键尺寸（CD）均匀性提升27%。

以原子级精度重塑制造边界

当半导体制造向埃米级精度突进时，湿度控制已从环境参数升级为工艺核心。英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX正以-100℃td的低露点测量能力，重新定义芯片制造的“纯净边界”——在这里，每一缕超纯气体都经过分子级净化，每一颗芯片都承载着科技对**的追求。正如某晶圆厂技术总监所言：“英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX不仅是检测工具，更是我们突破物理极限的‘湿度防火墙’。”英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX守护纯净防线

英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX主要参数如下所示：

量程：

紫点： -100℃ ~  0℃ 0-6000ppm

银点： -100℃ ~  -20℃ 0-1000ppm

灰点：-80℃ ~ 0 ℃ 0-6000ppm

红点：-80℃ ~ -20 ℃ 0-1000ppm

蓝点：-80℃ ~ 20 ℃ 0-23000ppm

精度： ±2℃

分辨率：0.1℃

工作温度：-20℃~50℃

样品流量：2~5L/min

工作压力：0.1bar

可选单位： ℃    ℉    ppm

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