英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪半导体制造的“零水汽守护者”

在5纳米、3纳米芯片制程向极限准确度冲刺的今天，半导体生产对气体纯度的要求已进入“ppt（万亿分之一）级”时代。高纯氮气、氩气等工艺气体中的微量水汽（露点＞-80℃）会引发芯片氧化、光刻胶失效等致命缺陷，导致良品率断崖式下跌。据行业统计，全球半导体产线因气体含水造成的年损失超50亿美元，而传统露点仪因检测下限不足、响应滞后，难以满足先进制程需求。英国SHAW公司推出的英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪，凭借其超低温检测能力与工业级可靠性，成为半导体气体纯化系统的“核心质检官”，助力中国芯片产业突破“水汽卡脖子”难题。

极限挑战：万亿分之一水汽如何摧毁芯片

半导体制造需经历光刻、蚀刻、离子注入等数百道工序，其中90%的环节依赖高纯气体保护。当气体露点高于-80℃时，水分子会通过“吸附-解吸”循环在晶圆表面富集：在蚀刻工序中，微量水汽与氯基气体反应生成盐酸，腐蚀硅基底；在薄膜沉积环节，水分子导致金属膜层氧化，使电阻率偏差超200%；在光刻胶涂覆时，水汽引发胶体团聚，造成10纳米级图案坍塌。某12英寸晶圆厂数据显示，气体露点每升高1℃，芯片缺陷密度增加15%，当露点突破-75℃时，整条产线良品率可能归零。

技术破壁：英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪的“超低温攻防术”

英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪专为半导体场景研发三大核心技术：

1. 纳米级水汽感知：采用石英晶体微天平（QCM）传感器，配合超低温冷阱预处理系统，在-100℃至+20℃温域内实现±0.1℃露点监测准确度，检测下限达0.001ppm（万亿分之一），较传统电解法仪器灵敏度提升1000倍；

2. 实时防爆防护：针对半导体厂易燃气体环境，通过Ex ia IIC T6 Ga本安型设计，在氢气、硅烷等危险气体中实现零火花运行，同时具备0.1秒级响应速度，可在水汽浓度突变前启动纯化系统再生；

3. 智能自诊断系统：内置AI算法模型，自动识别传感器漂移、管道泄漏等异常工况，通过MODBUS TCP协议与厂务控制系统（FMCS）无缝对接，实现气体纯化全流程闭环控制。

价值实证：某芯片厂的“良率跃迁”

长三角某12英寸逻辑芯片厂曾因气体露点波动导致良品率长期徘徊在85%，年损失超8000万元。2023年引入英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪系统后，在气体纯化装置进出口部署8台仪器，实现露点温度、水汽浓度的秒级监测。当系统检测到氮气露点升至-79.5℃时，立即触发吸附剂再生程序，10分钟内将露点恢复至-85℃以下。应用一年来，该厂产品良品率跃升至98%，单片晶圆产出价值提升30%，年增收超1.2亿元，同时减少气体纯化系统能耗25%（因准确控制再生周期）。

从“被动除湿”到“主动防患”，英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪正重新定义半导体气体纯化的技术标准。在芯片制造“纳米竞赛”白热化的今天，其通过筑牢水汽防控的*后一道防线，助力中国半导体产业向**制程突围，为“中国芯”的崛起注入关键技术动能。英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪半导体制造的“零水汽守护者”

经ATEX认证的IP66级防爆外壳和经ATEX认证的IP66级

防爆外壳英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪天然气管道安全运行的“湿度守护者”

用户可选择的数字指示，单位为C、F、

ppm(v)或lb/MMSCF英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪半导体制造的“零水汽守护者”

**度2°C(3.6°F)露点

“自动校准”校准功能

线性隔离4 - 20 mA信号，量程可调

通用输入：90 V至250 V AC（可选择24 V DC）

两个警报（从前面板查看/调整设定点）

完全可互换的SHAW露点传感器和范围：

紫色-100°C至0°C（-148°F至+32°F）

露点银色-100°C到-20°C（-1148°F至-4°F）英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪半导体制造的“零水汽守护者”

灰色-80°C至0°C（-112°F至+32°F）露点

红色-80°C至-20°C（-112°F至-4°F）露点

蓝色-80°C至+20°C（-112°F至+68°F）露点

带背光的大型清晰数字显示屏

露点仪和露点传感器保修一年英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪天然气管道安全运行的“湿度守护者”

用户友好的**功能

提供可追溯到国家和国际湿度标准的校准证书

更多英国SHAW进口Superdew 3-Exd在线露点仪半导体制造的“零水汽守护者”，请致电英肖仪器仪表（上海）有限公司17317608376。咨询英国肖氏SHAW系列露点仪、露点仪变送器Acudew-P、在线露点仪Superdew3、SWS-SD3在线露点仪、防爆SDT-EX露点仪变送器、便携式露点仪SADP露点仪、防爆手持露点仪SDHmini-EX、便携式露点仪SDHmini-L、手持式露点仪SDHmini、露点仪传感器SE-G、露点仪传感器SE-B、露点仪传感器SE-P获取更多SHAW露点仪产品的详细信息，请访问我们的网站：http://www.shawmeters.com.cn。

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