英国SHAW进口SADP便携式露点仪：守护芯片制造的ppb级湿度防线

在芯片制造领域，工艺气体（如氮气、氩气）的湿度控制是决定晶圆良率与设备寿命的核心环节。当气体中水分含量超过ppb级（十亿分之一）阈值时，微量的水蒸气会引发晶圆表面污染、薄膜缺陷、设备腐蚀等一系列连锁反应，导致良品率骤降。英国SHAW公司推出的SADP系列便携式露点仪，凭借其ppb级检测精度、快速响应与本质安全特性，成为芯片工厂工艺气体湿度监测的“关键防线”。

工艺气体湿度超标的危害：从晶圆缺陷到设备损毁

芯片制造中，光刻、蚀刻、化学气相沉积（CVD）等工艺对气体纯度要求极高。例如，在3纳米制程的CVD工艺中，氮气需将水分含量控制在0.1ppb以下，否则水蒸气会与前驱体（如硅烷）反应生成颗粒物，在晶圆表面形成直径仅几纳米的缺陷，直接导致芯片电性能失效。某国际芯片代工厂曾因氮气纯化器失效，导致气体露点从-90℃升至-60℃，引发某批次晶圆良率下降40%，损失超2000万元。

湿度超标还会加速设备腐蚀。在引线键合工艺中，若氩气含水量超过1ppb，水蒸气会与金属触头反应生成氢氧化物，导致键合强度下降30%，甚至引发电气连接断路。此外，高湿度环境会降低真空泵效率，使外延设备运行速度减慢20%，直接拖慢产线节拍。

SADP系列露点仪的技术优势：ppb级精度与现场适应性

针对芯片制造的严苛需求，SADP系列仪器通过三大创新实现可靠检测：

1. 超高准确度传感器：采用氧化铝电容传感器，测量范围覆盖-100℃至+20℃露点，对应水分浓度从0.1ppb到10ppm。例如，SADP-D-P型号可准确检测-90℃露点（约0.1ppb水分），满足先进制程对气体纯度的要求。

2. 快速响应与动态监测：响应时间≤1秒，可随时捕捉气体露点波动。在氮气纯化系统切换或设备启停时，SADP能快速响应变化，避免因滞后导致的数据失真。

3. 本质安全与便携性：通过ATEX和IECEx认证，适用于Class 1, Division 1等危险区域；轻量化设计（含肩带）便于在无尘室内移动检测，减少对产线的干扰。

行业应用案例：从气体供应验证到故障排查

在台积电的3纳米芯片产线中，SADP系列仪器发挥了关键作用：

· 气体供应验证：在超纯氩气钢瓶投用前，使用英国SHAW进口SADP便携式露点仪检测其露点，确保水分含量<0.5ppb，避免因气体污染导致晶圆缺陷。英国SHAW进口SADP便携式露点仪：守护芯片制造的ppb级湿度防线

· 工艺设备监测：将SADP与CVD设备的进气管道连接，随时监测氮气露点。当露点突然上升至-60℃时，系统立即报警，提示纯化器失效，操作人员可及时停机检修，避免批量报废。英国SHAW进口SADP便携式露点仪：守护芯片制造的ppb级湿度防线

· 故障溯源分析：某批次晶圆良率下降时，通过英国SHAW进口SADP便携式露点仪检测蚀刻气体中的水分波动，发现氮气纯化器再生不彻底导致露点超标，更换滤芯后良率恢复至98%以上。英国SHAW进口SADP便携式露点仪：守护芯片制造的ppb级湿度防线

从3纳米制程的CVD工艺到先进封装环节，英国SHAW进口SADP系列便携式露点仪为芯片制造提供了可靠的湿度监测解决方案。其本质安全设计、智能化操作与长效稳定性，不仅降低了企业的质量风险与运维成本，更推动了行业向“零缺陷”制造迈进。在芯片制程向2纳米及以下推进的背景下，SADP系列仪器将成为保障产线稳定运行、提升良率的“隐形卫士”。

传感元件 ：Shaw超高电容-氧化铝传感器

范 围：

银（S）：-100 - -20 °C 露点, 0 - 1000 ppm(v)

紫（P）：-100 - 0 °C 露点, 0 - 6000 ppm(v)

灰（G）：-80 - 0 °C 露点, 0 - 6000 ppm(v)

红（R）：-80 - -20 °C 露点, 0 - 1000 ppm(v)

蓝（B）：-80 - +20 °C 露点, 0 - 23,000 ppm(v)

自动校准 ：校准/范围检查设备.通过设备正面的电位器激活与操作

工厂校准 ：提供校准证书，国家物理实验室（NPL）

准确度 ：± 3 °C/ ± 4 °C 露点

NPL： -90 °C - +20 °C (-130 °F to +68 °F)

反应时间 ：潮湿-干燥：-20 °C - -60 °C < 120s   ，   干燥-潮湿：-100 °C - -20 °C < 20s

样品流速 ：与流量无关，但理想为2 - 5 L/min

*大：25 litres/min

校准保修 ：发货日起12个月

电磁兼容（EMC)

排放：符合EN 61000-6-3:2000

抗扰：符合EN 61000-6-1:2001

预热时间 ：5s

显 示

数字：4位数字，液晶显示。设置读取C°或°F露点

电 源

电池寿命 ：超过150小时连续运转

分辨率 ：0.1 °C, 0.2 °F 露点或0.1 ppm(v)

重复性 ：优于±0.5 °C露点

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