英国SHAW进口SADP便携式露点仪：半导体制造超纯气体的“水分侦察兵”

在半导体制造的精密世界里，超纯气体（如氮气、氩气、氢气）是支撑化学气相沉积（CVD）、蚀刻、离子注入等核心工艺的“血液”。然而，这些气体中哪怕存在微量水分（ppb级，如<10ppb），也可能引发灾难性后果：水分子会与硅基材料反应生成氧化硅杂质，导致薄膜开裂、器件漏电；或腐蚀气动阀门、真空泵等关键设备，造成生产线停机与巨额损失。在此背景下，英国SHAW公司推出的SADP便携式露点仪凭借其ppb级检测准确、本质安全设计与无尘室适配性，成为半导体工厂保障气体纯度的“*后一道防线”。

ppb级控水：从“隐形杀手”到“零缺陷”制造

半导体制造对气体纯度的要求近乎苛刻。以高纯氩气为例，其在CVD工艺中作为保护气，需将露点控制在≤-90℃（对应水分含量<0.001ppm），否则水蒸气会分解为氢气和氧气，破坏真空环境或引发薄膜氧化。英国SHAW进口SADP便携式露点仪采用氧化铝电容传感器，通过测量气体中水分子吸附引起的电容变化，实现-100℃至+20℃露点的宽范围覆盖，分辨率达0.1℃，可准确捕捉ppb级水分波动。例如，在某12英寸晶圆厂中，技术人员使用SADP对氩气管道进行巡检，发现一处阀门密封垫老化导致露点从-95℃升至-85℃，及时更换后避免了价值数百万美元的批次产品报废。

无尘室“轻骑兵”：安全与效率的双重保障

半导体生产环境对防爆、防尘要求很高。SADP便携式露点仪通过ATEX和IECEx本质安全认证，可在Class 1, Division 1等危险区域直接使用；其轻便结构（配备肩带）与无尘室兼容设计（如防静电外壳、低颗粒排放），使操作人员能快速穿梭于光刻、扩散等车间，对气体钢瓶、管道接头、质量流量控制器（MFC）等节点进行“即插即测”。某存储芯片厂商反馈，引入SADP后，气体纯度检测时间从传统的2小时/次缩短至10分钟/次，故障响应效率提升90%。

在半导体产业向3nm以下制程迈进的征程中，英国SHAW进口SADP便携式露点仪以“准确、灵活、安全”的核心价值，助力工厂构建“零水分干扰”的制造生态，为芯片性能与良率的持续提升保驾护航。

传感元件 ：Shaw超高电容-氧化铝传感器

范 围：

银（S）：-100 - -20 °C 露点, 0 - 1000 ppm(v)

紫（P）：-100 - 0 °C 露点, 0 - 6000 ppm(v)

灰（G）：-80 - 0 °C 露点, 0 - 6000 ppm(v)

红（R）：-80 - -20 °C 露点, 0 - 1000 ppm(v)

蓝（B）：-80 - +20 °C 露点, 0 - 23,000 ppm(v)

自动校准 ：校准/范围检查设备.通过设备正面的电位器激活与操作

工厂校准 ：提供校准证书，国家物理实验室（NPL）

准确度 ：± 3 °C/ ± 4 °C 露点

NPL： -90 °C - +20 °C (-130 °F to +68 °F)

反应时间 ：潮湿-干燥：-20 °C - -60 °C < 120s   ，   干燥-潮湿：-100 °C - -20 °C < 20s

样品流速 ：与流量无关，但理想为2 - 5 L/min

*大：25 litres/min

校准保修 ：发货日起12个月

电磁兼容（EMC)

排放：符合EN 61000-6-3:2000

抗扰：符合EN 61000-6-1:2001

预热时间 ：5s

显 示

数字：4位数字，液晶显示。设置读取C°或°F露点

电 源

电池寿命 ：超过150小时连续运转

分辨率 ：0.1 °C, 0.2 °F 露点或0.1 ppm(v)

重复性 ：优于±0.5 °C露点

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