英国SHAW进口SADP露点仪：工业制氦纯度管控的“精密标尺”

日期：2025-09-14 04:43

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摘要：

在某大型氦气提纯厂的生产车间内，两套低温精馏制氦装置正以每小时500Nm³的产能持续运行，但下游半导体制造企业反馈氦气中水分含量超标，导致光刻胶涂布环节出现气泡缺陷，产品良率下降15%。经排查发现，氦气露点温度波动范围达-65℃至-50℃，远超工艺要求的-75℃标准。这一案例揭示了工业制氦领域的关键痛点：氦气纯度直接决定**制造产品的良率与可靠性。英国SHAW便携式露点仪SADP系列凭借其高准确度、快速响应及本质安全特性，成为该企业破解这一难题的核心工具。

技术突破：从被动监测到主动干预

该企业原采用传统电解法湿度传感器进行氦气含水量监测，但存在响应滞后、量程不足等问题。引入SADP-D便携式露点仪后，其核心优势迅速显现：

1. 超宽量程与高准确度：SADP-D可在-100℃至+20℃露点范围内实现±3℃测量准确度，尤其适用于低温精馏制氦出口氦气（-70℃至-80℃露点）的准确检测。其TR版本更提供0-10ppm低浓度扩展量程，满足电子级氦气生产需求。

2. 本质安全设计：通过ATEX和IECEx双重防爆认证，SADP-D可直接在制氦车间等危险区域使用，无需额外安全附件，大幅缩短检测流程。

3. 智能干燥系统：**干燥剂头与传感器一体化设计，确保检测间隔期传感器始终处于干燥状态，开机即可获得准确读数，响应时间压缩至1秒内。

应用成效：数据驱动的工艺优化

在连续3个月的跟踪测试中，SADP-D揭示了关键问题：

· 精馏塔再沸器温度失衡：当再沸器温度从-190℃调整至-195℃时，氦气露点从-68℃优化至-76℃，水分含量降低80%。

· 吸附剂再生不彻底：监测发现某吸附塔再生时间不足导致吸附剂失效，优化再生程序后，氦气露点波动范围缩小至±1℃。

· 管道冷凝水积聚：通过定期抽检发现，某段管道坡度不足导致冷凝水滞留，及时改造后，管道腐蚀速率下降65%。

行业价值：从单一检测到全流程管控

目前，该企业已将英国SHAW便携式露点仪SADP系列露点仪部署于制氦全流程：

· 原料端：监测天然气提氦原料气含水量，确保精馏塔负荷稳定；

· 生产端：实时反馈精馏塔出口氦气水分数据，联动调节再沸器温度；

· 应用端：为半导体企业提供氦气质量追溯依据，避免因水分超标导致的生产事故。

据企业测算，英国SHAW便携式SADP露点仪的应用使氦气不合格率从2.1%降至0.4%，年节约返工成本超400万元。这一案例印证了SHAW技术总监的论断：“在工业气体领域，露点仪不仅是检测工具，更是连接生产数据与工艺优化的桥梁。”随着氦气在量子计算、核磁共振等**领域的广泛应用，英国SHAW便携式露点仪SADP系列正通过物联网模块实现远程监控，为工业制氦的数字化管控提供新范式。

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