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严控高纯气体水分英国SHAW便携式露点仪 SDHmini 筑牢半导体生产防线
日期：2026-06-15 11:54
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摘要：
半导体制造属于高精度产业，高纯工艺气体与保护气贯穿晶圆刻蚀、薄膜沉积、封装等全流程，气体中混入的微量水汽会造成晶圆氧化、电路缺陷、光刻失效等问题，直接影响芯片品质与生产良率。因此，常态化检测气体露点与含水量，是半导体工厂品质管控的关键环节，英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini凭借专业性能，成为半导体车间气体检测的优选设备。
英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini搭载肖氏超高电容氧化铝传感器，常规露点测量范围为 - 100℃至 + 20℃，搭配多款定制传感器，可适配不同等级高纯气体的检测标准。设备露点分...
半导体制造属于高精度产业，高纯工艺气体与保护气贯穿晶圆刻蚀、薄膜沉积、封装等全流程，气体中混入的微量水汽会造成晶圆氧化、电路缺陷、光刻失效等问题，直接影响芯片品质与生产良率。因此，常态化检测气体露点与含水量，是半导体工厂品质管控的关键环节，英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini凭借专业性能，成为半导体车间气体检测的优选设备。
英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini搭载肖氏超高电容氧化铝传感器，常规露点测量范围为 - 100℃至 + 20℃，搭配多款定制传感器，可适配不同等级高纯气体的检测标准。设备露点分辨率达 0.1℃，测量准确度为 ±2℃，能够精准捕捉气体中微量水分的细微变化，满足半导体行业对气体干燥度的严苛检测需求。设备内置独立干燥剂舱室，可在两次检测之间将传感器与环境空气隔离，有效规避车间环境水汽干扰，保证每一组检测数据稳定可靠。
半导体产线对设备稳定性要求较高，英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini配备 AutoCal 自动校准功能，操作人员按照屏幕菜单指引即可完成现场校准，无需额外辅助设备与专业技术人员，简化了设备运维流程，避免因仪器校准造成产线停滞。设备支持℃、ppm (v) 等多种单位切换，搭配全彩色液晶大屏与十种操作语言，界面简洁清晰，一线检测人员可以快速上手操作。
半导体厂区点位分散，需要频繁巡回检测，英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini具备良好的便携性与环境适应性。设备整机重量低于 1.75kg，手持移动检测十分便捷，IP66 防护等级可应对车间洁净区与设备机房的复杂工况。内置可充电锂电池可实现 150 小时连续运行，充足的续航能力能够支撑全天多点位巡检工作。
英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini还拥有完备的数据管理功能，机身可存储 300000 组检测数据，通过 USB、蓝牙可将数据上传至电脑或直接打印，方便企业建立气体品质追溯档案。无论是管道工艺气、气瓶保护气，还是腔体保护气体，英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini都可完成精准检测。
在半导体日常巡检、气体入库抽检、产线故障排查等工作中，英国 SHAW 便携式露点仪 SDHmini持续监测高纯气体露点，及时把控水分指标，减少水汽带来的生产隐患，为半导体制造稳定生产、提升产品品质提供坚实保障
英国肖氏 SHAW 露点仪全系列产品包括：
便携式露点仪 SADP、防爆手持露点仪 SDHmini‑EX、手持式露点仪 SDHmini、手持露点仪 SDHmini‑L；露点仪传感器 SE‑P、SE‑G、SE‑B；防爆露点仪变送器 SDT‑EX、SWS‑SD3 在线露点仪、Superdew3 在线露点仪、Acudew 露点仪变送器。
如需了解更多 SHAW 露点仪产品详情，欢迎访问官方网站：http://www.shawmeters.com.cn
主营产品：
SHAW 肖氏露点仪、在线露点仪、便携式露点仪、压缩空气露点仪、露点仪变送器、肖氏露点传感器；同时提供膜康透湿仪、顶空分析仪、药品残氧仪、冷镜露点仪等进口分析检测仪器。
