美国EdgeTech冷镜露点仪DewTech390：真空系统残余水分测量的可靠搭档

在真空技术广泛应用的今天，从半导体镀膜到航天器模拟试验，真空腔体内的残余水分含量直接决定了工艺质量和系统可靠性。微量水分一旦超标，轻则影响薄膜附着力，重则导致器件性能失效。美国EdgeTech Instruments推出的DewTech 390冷镜式露点仪，凭借宽范围、高精度和免校准的特性，为真空系统的残余水分测量提供了值得信赖的解决方案。

宽范围高精度，满足真空系统多工况需求

真空系统在不同抽气阶段对水分的要求差异显著：粗真空阶段需监测较高露点以评估泵组效率，而高真空阶段则需捕捉极低露点以确认腔体洁净度。DewTech 390采用三级珀耳帖冷却冷冻镜传感器并集成附加制冷系统，测量范围覆盖-90°C霜点至+20°C露点，准确度达±0.2°C，还可根据需求提供±0.1°C的更高精度版本。 这一宽范围足以覆盖从大气压抽气到高真空的全过程水分监控需求。仪器支持0至75 psia的样品压力和0.5至5.0 SCFH的样品流速，可灵活适配各类真空泵的取样接口。

免校准自动清洁，适配真空系统长期运行

真空设备通常需要长时间连续运转，频繁停机维护会严重影响生产效率。DewTech 390无需定期重新校准，并能自动校正大多数镜面污染物，启动时自动重新平衡光学系统，大幅降低维护频率。 仪器还支持可编程ABC间隔功能，可实现无人值守操作，配合用户可编程的双报警功能——可设置为闭锁或自动复位模式——当腔体内残余水分超标时及时发出警报，帮助运维人员快速响应，避免工艺事故。

多参数显示与多接口输出，助力真空工艺优化

DewTech 390配备8行背光滚动图形显示面板，可同时展示露点/霜点温度、相对湿度、环境温度、ppmv和压力等多项参数，便于真空工艺工程师**掌握腔体内的水分状况。 仪器提供0至5V DC、4至20mA等多种模拟输出及RS232串行通信接口，可与计算机或PLC系统连接，方便检测数据的记录与远程监控。压力传感器输入还可用于压力变化的补偿计算，确保不同抽气阶段测量结果的一致性。

DewTech 390在美国ISO/IEC 17025认证校准实验室完成标定，随附NIST可追溯性证书，为真空系统的残余水分测量提供了高标准的测量保障，是真空技术企业提升工艺管控水平的实用之选

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