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每一口"纯气"都有守护者——英国SHAW SUPER-DEW3助力氮气与惰性气体品质管控

日期:2026-05-23 02:52
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摘要: 在半导体制造、食品保鲜、化工合成等行业中,高纯度氮气与惰性气体(如氩气、氦气)是不可或缺的工艺介质。然而,即便是微量的水分,也可能导致产品氧化、催化剂失活或工艺偏差。因此,在制氮机或惰性气体发生器出口对气体露点进行在线监测,已成为保障气体干燥度符合工艺要求的核心环节。英国肖氏(SHAW)推出的SUPER-DEW3在线露点仪,正是为这一场景量身打造的可靠方案。 为纯度而生的硬核实力 SUPER-DEW3搭载SHAW超高电容氧化铝传感器,整体露点精度达±2°C(±3.6°F),重复性优于±0....

在半导体制造、食品保鲜、化工合成等行业中,高纯度氮气与惰性气体(如氩气、氦气)是不可或缺的工艺介质。然而,即便是微量的水分,也可能导致产品氧化、催化剂失活或工艺偏差。因此,在制氮机或惰性气体发生器出口对气体露点进行在线监测,已成为保障气体干燥度符合工艺要求的核心环节。英国肖氏(SHAW)推出的SUPER-DEW3在线露点仪,正是为这一场景量身打造的可靠方案。



为纯度而生的硬核实力

SUPER-DEW3搭载SHAW超高电容氧化铝传感器,整体露点精度达±2°C(±3.6°F),重复性优于±0.3°C,分辨率高达0.1°C,能够精准捕捉气体中微量水分的变化。 量程覆盖-100°C至+20°C全范围,提供紫色(P)、银色(S)、灰色(G)、红色(R)、蓝色(BL)五种可选传感器,其中红色(R)和银色(S)量程专为-80°C至-20°C、0至1000 ppm(v)的高纯气体检测设计,**匹配氮气与惰性气体的干燥度要求。

仪器标配隔离的4-20 mA线性模拟输出,量程可在传感器全范围内自由配置,便于接入DCS或PLC系统实现集中管控。 两个完全可编程的报警继电器可独立设置,超过设定点仅0.1°C即触发报警,在240V交流电下额定电流10A,一旦出口露点超标便立即报警,防止不合格气体流入下游工艺。

现场应用:让每一方气体都达标

在PSA制氮机出口处,SUPER-DEW3可实时监测氮气露点是否维持在-40°C至-60°C的工艺要求范围内。当分子筛吸附性能下降、出口水分升高时,报警继电器迅速动作,操作人员可及时切换备用机组或启动再生程序,避免湿氮进入半导体晶圆清洗或食品充氮包装等敏感环节。

在氩气生产中,由于惰性气体广泛用于焊接保护和金属冶炼,对水分极为敏感。SUPER-DEW3的响应时间短——干到湿小于20秒,湿至干小于120秒,能够快速反映气体干燥状态的变化。 加上仅5秒的预热时间,几乎实现开机即测,大幅提升了生产节拍。

值得一提的是,SUPER-DEW3支持仪表与传感器距离超过1000米,仪表可安于中央控制室,传感器直接安装在制氮机出口管道上,部署灵活且互不干扰。

SUPER-DEW3以高精度、快响应和强报警功能,为氮气与惰性气体的生产质量筑起了一道可靠的水分防线,是气体纯化工艺中值得信赖的在线监测伙伴


  1. 仪器类型与用途
    • 类型:单通道在线露点仪                 
    • 用途:测量工艺气体和压缩空气中的露点                 
  2. 外壳与防护
    • 面板安装外壳防护等级:IP54                 
    • 前面板防风雨等级:IP65                 
  3. 传感器技术
    • 传感器类型:Shaw超高电容氧化铝传感器                 
    • 精度:整体系统精度优于±2°C(±3.6°F)露点
    • 分辨率:0.1°C,0.1°F露点或0.1 ppm(v)
    • 重复性:优于±0.3°C(±0.54°F)露点
  4. 测量范围
    • 紫色范围(P):-100°C至0°C露点,0-6000 ppm(v)                 
    • 银色范围(S):-100°C至-20°C露点,0-1000 ppm(v)                 
    • 灰色范围(G):-80°C至0°C露点,0-6000 ppm(v)                 
    • 红色范围(R):-80°C至-20°C露点,0-1000 ppm(v)                 
    • 蓝色范围(BL):-80°C至+20°C露点,0-23000 ppm(v)                 
  5. 显示与输出
    • 显示:五字符LED显示屏,可显示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf                 
    • 报警继电器:两个完全可编程的报警继电器                 
    • 模拟输出:标配一个隔离的4-20 mA模拟输出,量程可调                 
  6. 校准与功能
    • 校准功能:AutoCal校准功能,提供可追溯至国际标准的校准证书                 
    • 现场校准:支持现场校准和量程检查                 
  7. 环境适应性
    • 工作温度:-20°C至+60°C(-4°F至+140°F)
    • 储存温度:-20°C至+70°C(-4°F至+158°F)
    • 工作湿度:*高95%RH非冷凝
  8. 电气特性
    • 工作电压:90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC
    • 电磁兼容性:符合EN 61326:2006标准                 
  9. 机械特性
    • 工作压力:从1 kPa(0.01 barA)到*大值35,000 kPa(350 barA)
    • 探头材料:316不锈钢
    • 传感器保护装置:316烧结不锈钢过滤器,50微米
  10. 质保与保修
    • 质保期:工艺和零件缺陷的12个月

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