英国SHAW在线露点仪Superdew 3:半导体制造的“纯净守护者”
在半导体制造这一高精尖领域,气体纯度是决定产品质量与生产良率的关键因素之一。工艺气体中哪怕存在极其微量的水分,也可能引发一系列严重问题,如导致芯片表面氧化、影响薄膜沉积质量、降低器件性能稳定性等,进而造成巨大的经济损失。而英国SHAW公司推出的Superdew 3在线露点仪,凭借其稳定的性能,成为保障半导体制造工艺气体纯净度的得力“利器”。

英国SHAW在线露点仪Superdew 3专为在线监测工艺气体露点设计,其核心优势在于搭载了高精度的Shaw高电容氧化铝传感器。这一传感器与先进的数字电子技术**结合,实现了露点测量的高精度与高重复性,整体系统精度优于±2°C。如此精准的测量能力,能够及时发现工艺气体中哪怕是极其微小的水分变化,为半导体制造过程提供可靠的数据支持。
半导体制造工艺复杂多样,不同的生产环节对气体露点的要求也各不相同。英国SHAW在线露点仪Superdew 3具备多种量程选择,无论是低温环境下的超低露点监测,还是相对较高温度条件下的常规露点检测,都能轻松应对,满足半导体制造不同工艺阶段的多样化需求。同时,其配备的大型清晰五字符LED显示屏,支持多种单位显示,操作人员可以根据实际需求方便地读取数据,极大地提高了工作效率。
在半导体制造现场,设备的稳定运行至关重要。英国SHAW在线露点仪Superdew 3拥有出色的抗干扰能力和稳定性,符合严格的电磁兼容性标准,能够在复杂的电磁环境中可靠工作。而且,它还具备完善的报警功能,两个完全可编程的报警继电器可根据预设的露点值进行触发。一旦工艺气体中的露点超出安全范围,仪器会立即发出警报,提醒操作人员及时采取措施,防止因水分超标而影响产品质量。
英国SHAW公司的Superdew 3在线露点仪,以其精准的测量、灵活的配置、强大的报警功能和可靠的稳定性,成为半导体制造过程中不可或缺的“纯净守护者”,为半导体产业的高质量发展提供了坚实保障。
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仪器类型与用途:
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类型:单通道在线露点仪
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用途:测量工艺气体和压缩空气中的露点
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类型:单通道在线露点仪
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外壳与防护:
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面板安装外壳防护等级:IP54
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前面板防风雨等级:IP65
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面板安装外壳防护等级:IP54
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传感器技术:
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传感器类型:Shaw超高电容氧化铝传感器
- 精度:整体系统精度优于±2°C(±3.6°F)露点
- 分辨率:0.1°C,0.1°F露点或0.1 ppm(v)
- 重复性:优于±0.3°C(±0.54°F)露点
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传感器类型:Shaw超高电容氧化铝传感器
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测量范围:
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紫色范围(P):-100°C至0°C露点,0-6000 ppm(v)
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银色范围(S):-100°C至-20°C露点,0-1000 ppm(v)
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灰色范围(G):-80°C至0°C露点,0-6000 ppm(v)
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红色范围(R):-80°C至-20°C露点,0-1000 ppm(v)
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蓝色范围(BL):-80°C至+20°C露点,0-23000 ppm(v)
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紫色范围(P):-100°C至0°C露点,0-6000 ppm(v)
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显示与输出:
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显示:五字符LED显示屏,可显示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf
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报警继电器:两个完全可编程的报警继电器
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模拟输出:标配一个隔离的4-20 mA模拟输出,量程可调
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显示:五字符LED显示屏,可显示°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf
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校准与功能:
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校准功能:AutoCal校准功能,提供可追溯至国际标准的校准证书
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现场校准:支持现场校准和量程检查
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校准功能:AutoCal校准功能,提供可追溯至国际标准的校准证书
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环境适应性:
- 工作温度:-20°C至+60°C(-4°F至+140°F)
- 储存温度:-20°C至+70°C(-4°F至+158°F)
- 工作湿度:*高95%RH非冷凝
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电气特性:
- 工作电压:90至250 VAC 50/60 Hz或24 VDC
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电磁兼容性:符合EN 61326:2006标准
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机械特性:
- 工作压力:从1 kPa(0.01 barA)到*大值35,000 kPa(350 barA)
- 探头材料:316不锈钢
- 传感器保护装置:316烧结不锈钢过滤器,50微米
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质保与保修:
- 质保期:工艺和零件缺陷的12个月
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