英国SHAW便携式露点仪SDHmini，洁净室湿度控制的“静电-微粒”双防卫士

在半导体制造、生物医药、精密电子等高精尖领域，洁净室是保障产品质量的核心环境。其空气洁净度需严格控制，但湿度管理同样关键——湿度过高会导致微粒吸附加剧，湿度过低则易引发静电放电（ESD），两者均可能造成产品良率下降甚至设备损坏。英国SHAW公司推出的英国SHAW便携式露点仪SDHmini，凭借其高精度、快速响应和智能化功能，成为洁净室湿度控制的“双防卫士”，有效平衡静电抑制与微粒污染防控需求。

一、洁净室湿度控制的“两难困境”

洁净室对湿度的要求近乎严苛：

1. 静电风险：当相对湿度（RH）低于30%时，空气绝缘性增强，物体表面易积累静电电荷，可能击穿芯片、污染生物制剂或引发粉尘爆炸。

2. 微粒污染：若RH超过60%，空气中的水蒸气会吸附在微粒表面，使其重量增加而难以被空气过滤系统捕获，导致洁净度等级下降。

行业实践表明，洁净室*佳湿度范围通常为40%-60%RH（对应露点约0℃至15℃），但不同工艺节点可能需进一步细化（如半导体光刻工序要求露点≤-40℃）。传统湿度计因精度不足或响应滞后，难以满足动态监控需求。

二、英国SHAW便携式露点仪SDHmini：破解洁净室湿度控制难题

±2℃露点精度，精准锁定安全阈值
英国SHAW便携式露点仪SDHmini采用肖氏高电容氧化铝传感器，在-100℃至+20℃露点范围内实现±2℃测量精度，分辨率达0.1℃。即使洁净室内湿度波动微小（如±2%RH），设备也能精准捕捉变化，为空调系统或加湿/除湿设备提供实时调整依据，确保湿度始终处于安全区间。

秒级响应，应对突发湿度事件
传感器从潮湿到干燥状态转换时间＜120秒，干燥到潮湿状态＜20秒，可快速响应人员进出、设备启停等导致的湿度突变。例如，在半导体洁净室中，当光刻机开启时局部产热可能引发湿度骤降，英国SHAW便携式露点仪SDHmini能立即反馈数据，触发加湿系统补救，避免静电损伤晶圆。

便携耐用，适配洁净室操作规范
英国SHAW便携式露点仪SDHmini重量仅1.75kg，配备IP66防护等级外壳，可耐受洁净室常用的化学**剂腐蚀，且表面光滑易清洁，符合ISO 14644-1对设备洁净度的要求。其内置150小时续航锂电池，支持连续多日巡检，避免频繁插拔电源破坏洁净室气流组织。

智能化数据管理，支撑合规与优化
设备支持30万组数据存储，可记录检测时间、露点值、温度及压力等参数，并通过蓝牙/USB导出至PC生成趋势图。洁净室管理人员可据此分析湿度波动规律，优化空调系统运行策略，降低能耗与污染风险。

三、应用场景：从百级到万级洁净室的全覆盖

· 半导体制造：在光刻、蚀刻等工序中，实时监测黄光区湿度，防止静电击穿晶圆。

· 生物医药：监控无菌制剂灌装间湿度，避免微生物滋生或药品吸潮变质。

· 精密电子：在硬盘组装、液晶面板生产中，维持低湿度环境以抑制微粒吸附。

在洁净室“微米级污染控制”与“静电零容忍”的双重挑战下，英国SHAW便携式露点仪SDHmini以技术赋能环境管理，将湿度控制从“被动监测”升级为“主动预防”。它不仅是检测工具，更是洁净室质量风险管控体系中不可或缺的一环，为高精尖制造筑起一道隐形的湿度防线。

1. • 产品类型与功能：
     • 产品类型：SDHmini便携式露点仪
     • 功能：快速测量露点并追踪微量水分含量，为工业应用提供可靠结果    
   • 物理特性：
     • 外壳材料：包含水分传感器、干燥剂舱室、气体样品口、信号调理电路、存储管理、彩色大LCD屏幕    
     • 尺寸：97mm (宽) x 147mm (深) x 211mm (高，干燥头伸出为259mm)    
     • 重量：<1.75kg    
     • 防水分类：IP66/NEMA 4X    
   • 电源与电池：
     • 电池类型：机载可充电锂电池
     • 电池寿命：连续操作150小时
     • 充电时间：12小时    
   • 显示与操作：
     • 显示屏：全彩色大LCD屏幕，分辨率320 x 240（24 bits）    
     • 操作语言：支持10种语言（英语、德语、法语、西班牙语、葡萄牙语、俄罗斯语、意大利语、汉语、日语、韩语）    
     • 菜单显示：直观简单    
   • 测量参数：
     • 测量范围：
       • 紫色传感器：-100℃ - 0℃露点，0-6000ppm(v)
       • 银色传感器：-100℃ - -20℃露点，0-1000ppm(v)
       • 灰色传感器：-80℃ - 0℃露点，0-6000ppm(v)
       • 红色传感器：-80℃ - -20℃露点，0-1000ppm(v)
       • 蓝色传感器：-80℃ - +20℃露点，0-23000ppm(v)
     • 准确度：±2℃露点    
     • 分辨率：0.1℃露点或0.1ppm(v)    
     • 重复性：优于±0.2℃露点    
     • 反应时间：
       • 潮湿至干燥：-10℃ - -60℃，<120s
       • 干燥至潮湿：-100℃ - -20℃，<20s    
   • 数据记录与传输：
     • 数据记录能力：*多300,000个数据点
     • 数据传输：通过USB和蓝牙传输给PC并打印
     • 实时记录与图形化显示：支持    
   • 校准与维护：
     • 自动校准（AutoCal）：传感器设计有自动校准功能，减少停机时间和校准费用    
     • 校准证书：提供校准证书，可通过国家和国际标准查询    
   • 环境适应性：
     • 操作温度：-20℃ - +50℃    
     • 保存温度：-30℃ - +70℃    
     • 操作湿度（外部）：*大-95% RH，无冷凝    
     • 操作压力：*大0.3bar / 4psi    
   • 传感器保护：
     • 传感器保护：316不锈钢烧结过滤器，-50μm    
   • 订购信息：
     • 类型选择：根据露点范围选择（紫色、银色、灰色、红色、蓝色）
     • 样品连接：指定入口连接类型和尺寸
     • 电源类型：根据使用地区选择（英国型、美国型、欧盟型、澳大利亚型、韩国型、阿根廷型、印度型、中国型、巴西型、南非型）