英国Alphasense氯气传感器CL2-A1：芯片制造精密工艺中的“零泄漏守护者”

在半导体芯片制造的刻蚀与清洗环节，高纯氯气（Cl₂）作为核心工艺气体，通过等离子体反应实现硅基材料的精准刻蚀或表面污染物去除。然而，氯气具有强腐蚀性和毒性，即便极微量泄漏（如0.1ppm级）也可能腐蚀价值数百万的晶圆、污染精密设备（如光刻机、刻蚀机），甚至引发火灾爆炸风险。英国Alphasense公司推出的CL2-A1电化学氯气传感器，凭借其低检测限、高精度和快速响应能力，成为芯片制造特种气体间、工艺设备排气口及车间环境监测的“核心防线”。

低检测限，拦截晶圆制造“隐形杀手”

芯片制造对氯气泄漏的容忍度近乎零。例如，在12英寸晶圆刻蚀工艺中，氯气泄漏浓度超过0.1ppm即可能导致硅表面粗糙度超标，造成整批晶圆报废。英国Alphasense氯气传感器CL2-A1分辨率达0.02ppm，在0-5ppm范围内线性误差小于±0.1ppm，可实时捕捉特种气体间（如氯气钢瓶储存区）的微量泄漏。其灵敏度为-350至-750nA/ppm（10ppm Cl₂时），确保即使泄漏速率低至0.1L/min，也能在30秒内产生响应，为晶圆转移和设备停机争取关键时间。

快速响应，守护排气口安全防线

工艺设备排气口是氯气泄漏的高风险点。刻蚀机、清洗机等设备运行时，氯气通过排气管道输送至尾气处理系统，若管道连接处密封失效，泄漏气体可能直接扩散至车间。英国Alphasense氯气传感器CL2-A1t90响应时间小于60秒（10ppm Cl₂时），可快速检测排气口氯气浓度突变。例如，当传感器监测到排气口氯气浓度从0ppm骤升至0.5ppm时，立即联动紧急切断阀关闭气源，并启动局部排风系统，将泄漏影响控制在设备周边1米范围内，避免污染整个洁净车间。

抗干扰稳运行，适应洁净车间严苛环境

芯片制造车间对环境洁净度要求极高（如ISO Class 1级），同时存在多种工艺气体（如CF₄、NF₃）和挥发性有机物（VOCs），可能干扰传感器性能。英国Alphasense氯气传感器CL2-A1对H₂S、SO₂等常见干扰气体的灵敏度抑制均低于3%，且工作温度范围覆盖-20°C至50°C，湿度范围15%-90%RH，可稳定运行于洁净车间的温湿度控制环境中。其24个月质保期及年零点漂移小于0.05ppm的特性，大幅降低维护频率，确保长期监测可靠性。

典型应用场景

· 特种气体间：在氯气钢瓶储存柜、气瓶连接阀处部署传感器，实时监测储存环节泄漏。

· 工艺设备排气口：在刻蚀机、清洗机的排气管道上安装传感器，构建“设备级”泄漏预警。

· 洁净车间环境：在晶圆搬运通道、设备操作区设置传感器，形成“区域级”安全网络。

英国Alphasense氯气传感器CL2-A1以技术实力筑牢芯片制造安全基石，其低检测限、快响应和强抗干扰能力，为高纯氯气工艺提供了从储存到排放的全链条防护，是守护数百万晶圆与精密设备的“隐形盾牌”。

1. 灵敏度：
   • 在10ppm Cl₂中的灵敏度（单位：nA/ppm）：具体数值未直接给出，但提及了灵敏度会随温度变化 
     。
   • 灵敏度温度特性：-20°C时灵敏度为65~85%（相对于20°C时的输出），50°C时灵敏度为105~125%（相对于20°C时的输出）。 
2. 反应时间：
   • 从零点到10ppm Cl₂的t90时间（秒，33Ω负载电阻）：<60秒 
     。
   • 反应时间温度特性：温度降低时响应时间增加，高温时响应时间也会增加 
     。 
     。
3. 零点电流与零点温度特性：
   • 零点电流：零级空气中等效的ppm值，具体数值未直接给出。 
   • 零点温度特性：-20°C时零点变化<±0.25ppm（相对于20°C时的零点），50°C时零点变化0~-0.8ppm（相对于20°C时的零点）。 
4. 分辨率与量程：
   • 分辨率：RMS噪声（等效ppm值，33Ω负载电阻），具体数值未直接给出 
     。
   • 量程：能保证产品性能的测量限值（ppm），具体数值未直接给出，但提及了线性度在0~5ppm时呈线性 
     。 
5. 线性度与过载：
   • 线性度：全量程误差的ppm值，0~5ppm时呈线性 
     。
   • 过载：对气体脉冲稳定反应的*大ppm值，具体为50ppm 
     。 
     （此处“50寿命零点漂移”应为笔误，理解为过载值为50ppm）
6. 长期稳定性：
   • 零点漂移：实验室空气中每年变化的等效ppm值，月测<0.05ppm 
     。 
   • 灵敏度漂移：实验室空气中每年变化的百分比，月测<10% 
     。 
     （此处描述有误，理解为灵敏度漂移每年<10%）
   • 输出信号稳定性：输出降至80%原始信号的月数（质保24个月），>24个月 
     。 
7. 交叉灵敏度：
   • 对H₂S、NO₂、NO、SO₂、CO、H₂、C₂H₄等气体的交叉灵敏度百分比，具体数值如H₂S 20ppm时<-30%，NO₂ 10ppm时为100%等 
     。 
     。 
     。 
     。 
     。 
     。 
     。
8. 环境参数：
   • 关键温度范围：-20~50°C 
     。
   • 压力范围：80~120kPa 
     。
   • 湿度范围：持续相对湿度15~90% 
     。
   • 存储期限：3~20℃时的保存月数（需保存在密封罐中），为6个月 
     。 
     （此处“6负载电阻”应为笔误，理解为存储期限为6个月）
9. 物理参数：
   • 负载电阻：为优化性能，建议使用33Ω 
     。
   • 重量：<6g 
     。

更多英国Alphasense氯气传感器CL2-A1：芯片制造精密工艺中的“零泄漏守护者”请致电英肖仪器仪表（上海）有限公司是英国Alphasense埃尔弗 系列传感器的正规代理，包括氧传感器O2-A3、氧传感器O2-A2、氧传感器O2-M2、O2-W2氧传感器、H202-B1氧化氢传感器、光离子传感器、CO-CE一氧化碳传感器、PID传感器，VOC传感器、CO-CE一氧化碳传感器，以及多款一氧化碳传感器和氯化氢传感器HCL-A1，均展现出良好的性能与精度。若您对英国Alphasense的埃尔弗氧传感器有详细资料查询或购买需求，请致电英肖仪器仪表（上海）有限公司，联系电话：17317608376。埃尔弗 传感器

主要产品：｜O2-A2氧传感器｜|露点仪厂家｜在线露点仪｜｜|SADP露点仪|压缩空气露点仪|肖氏露点仪|在线露点仪| |露点仪厂家｜肖氏露点传感器|肖氏露点仪|在线露点仪｜膜康透湿仪|｜顶空分析仪|药品残氧仪|压缩空气露点仪|Mocon透氧仪|膜康透湿仪|PBI顶空分析仪|露点仪品牌|露点仪价格|露点仪批发|冷镜露点仪DewTrace｜氧传感器O2-A2|冷镜露点仪DewTrace｜冷镜露点仪DewMaster