英国SHAW露点仪变送器AcuDew：精准控湿，守护超净间与晶圆加工高纯度气体环境

在半导体制造领域，超净间与晶圆加工环境对气体纯度的要求近乎苛刻。高纯度气体中的微量水分不仅会导致微电路氧化，还可能引发晶圆表面缺陷，严重影响产品良率与性能。英国SHAW露点仪变送器AcuDew，凭借其稳定的露点监测能力，成为保障超净间与晶圆加工气体环境稳定的关键设备。

英国SHAW露点仪变送器AcuDew采用2线制4-20mA回路供电设计，结构紧凑且安装灵活，能够轻松集成于超净间与晶圆加工的气体供应系统中。

其测量范围覆盖-120°C至+20°C露点，精度高达±2°C，可精准捕捉气体中ppm级的水分变化，确保高纯度气体环境始终处于可控状态。这一特性对于预防微电路氧化和晶圆表面缺陷至关重要。

设备内置的高电容肖氏露点传感器，具备极高的灵敏度和快速响应能力，能够在数秒内准确反映气体露点的微小波动。

这种即时监测机制，使得运维人员能够迅速调整气体纯化系统，及时排除水分隐患，保障生产过程的连续性和稳定性。

此外，英国SHAW露点仪变送器AcuDew采用316不锈钢材质与IP66防水等级设计，可耐受超净间与晶圆加工环境中的化学腐蚀和粉尘污染。

其自动校准功能和自我诊断系统，进一步提升了设备的可靠性和维护效率，降低了人工巡检成本。

在实际应用中，英国SHAW露点仪变送器AcuDew通过持续监测高纯度气体的露点，帮助半导体企业严格控制气体湿度，有效避免了微电路氧化和晶圆加工缺陷。这一解决方案不仅提升了产品良率和性能稳定性，也为超净间与晶圆加工环境的智能化管理提供了有力支持。英国SHAW露点仪变送器AcuDew，以精准控湿守护半导体制造的核心环节。

英国肖氏SHAW进口AcuDew露点变送器参数如下：

•  操作压力：从1kPa(0.01barA) 到*大35,000kPa (350barA)

•  工作湿度（外部）：*大 - 95% RH 非冷凝

•   电缆终端： IP66/NEMA 4X额定值，M12五针电缆接头连接变送器， 另一端用套管端接

•   电缆：提供 2 米标准电缆。标称直径 3.4 毫米，20°C 时为92 Ω/km

•  变送器外壳： 316不锈钢机身，带5针集成电缆插头

•  传感器保护：316烧结不锈钢过滤器-50微米

•  探头材料（湿部）：316不锈钢

•   防风雨等级： 与变送器连接时为IP66（NEMA4X）

•  机械连接：3/4“UNF（16tpi），带整体氟橡胶O形密封圈 •  机械保修： 12个月， 以防做工和零件有缺陷

•  重量： 215 克（0.474 磅）包括连接器

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