英国SHAW便携式露点仪SDHmini：超净间与特种气体纯度的“精密卫士”
在半导体制造的光刻、封装、测试等超净间环境中，环境露点与特种气体纯度是影响芯片良率的核心参数。若超净间露点温度高于-60℃，空气中水分会吸附于晶圆表面，在后续高温工艺中引发氧化层腐蚀；若电子级氮气等特种气体含水量超标（通常要求露点≤-80℃），微量水分会与化学气相沉积（CVD）中的前驱体反应，导致薄膜缺陷或电路短路。英国SHAW公司推出的英国SHAW便携式露点仪SDHmini，凭借其低温测量精度、抗污染设计及快速响应能力，成为半导体行业保障工艺稳定性、提升产品可靠性的关键设备。
低温精准监测，筑牢超净间湿度防线
超净间对环境露点的控制极为严苛。例如，在光刻工序中，若环境露点高于-50℃，晶圆表面会吸附纳米级水膜，导致光刻胶涂覆不均，影响线宽精度；在封装环节，水分渗入塑封料可能引发爆米花效应（Popcorn Effect），造成芯片开裂。英国SHAW便携式露点仪SDHmini便携式露头仪采用肖氏**氧化铝传感器，可稳定测量-100℃至+20℃的露点范围，在-80℃低温环境下仍能保持±2℃的测量精度，分辨率达0.1℃。其数据可直接接入超净间环境监控系统（EMCS），随时追踪露点波动趋势，为调整除湿设备参数提供量化依据。某12英寸晶圆厂实测显示，英国SHAW便携式露点仪SDHmini在模拟光刻间湿度骤升实验中，能在15秒内检测到露点从-70℃升至-60℃，较传统温湿度传感器提速10倍，为及时启动备用除湿机争取关键时间。
抗污染设计，保障特种气体纯度检测
电子级氮气、高纯氩气等特种气体是半导体工艺的“血液”，其纯度直接影响芯片性能。例如，电子级氮气若含水量超标（露点＞-80℃），水分会与CVD工艺中的硅烷（SiH₄）反应生成硅氧键，导致薄膜致密性下降；在刻蚀工序中，水分可能引发等离子体异常放电，损伤晶圆表面。英国SHAW便携式露点仪SDHmini的传感器表面覆盖纳米疏水涂层，可有效抵御特种气体中微量杂质（如颗粒物、有机物）的污染；其干燥头设计通过物理隔离环境气体，避免外部水分干扰，确保测量数据真实性。某存储芯片厂商测试数据显示，英国SHAW便携式露点仪SDHmini在连续检测1000ppm级电子级氮气72小时后，测量误差仍控制在±1.5℃以内，满足SEMI C12-1116标准对特种气体露点的要求。
便携灵活，适配半导体全流程检测
半导体产线包含光刻、蚀刻、沉积、封装等数十个工序，检测设备需具备高机动性。英国SHAW便携式露点仪SDHmini重量仅1.75kg，支持电池供电与无线数据传输，可由工程师手持或安装于AMHS（自动物料搬运系统）小车上，灵活覆盖超净间、气瓶柜、工艺腔体等场景。其IP66防护等级设计可抵御洁净室清洗剂腐蚀，内置电磁屏蔽模块可过滤95%以上的设备干扰信号，确保在复杂工况下稳定运行。某先进封装厂验收中，英国SHAW便携式露点仪SDHmini在-20℃低温、0.1μm级洁净环境下连续工作30天，成功捕捉到3起气瓶柜露点异常事件，避免因气体纯度问题导致的批量性产品报废。
英国SHAW便携式露点仪SDHmini以低温精度、抗污染能力及全流程机动性，为半导体制造构建了湿度与气体纯度的双重防控体系。通过精准监测超净间环境露点与特种气体水分含量，企业可显著提升芯片良率、降低生产成本，从而在先进制程竞争中占据技术优势。英国SHAW便携式露点仪SDHmini不仅是检测设备，更是半导体行业迈向“零缺陷”制造的“隐形引擎”。
英国肖氏SDHmini便携式露点仪作为新工业测量标准的代表，集高精度、智能化与便携性于一体，其核心参数涵盖测量范围（-110℃至+20℃露点，0-23,000ppm(v)）、精度（±2℃露点，重复性优于±0.2℃）、响应速度（潮湿至干燥<120秒，干燥至潮湿<20秒）、数据存储（30万组数据点，支持图形化记录）及通信方式（USB/蓝牙传输，兼容PC打印）；设备采用IP66防护等级与1.75kg轻量化设计，配备150小时续航锂电池及10种语言菜单，操作压力*大0.3bar，温度补偿范围覆盖-20℃至+50℃，并通过EMC认证；其独特干燥舱室设计通过传感器与干燥剂隔离环境空气，结合自动校准功能（AutoCal）实现现场快速验证，减少停机时间；技术参数方面，提供紫色（-100℃至0℃）、银色（-100℃至-20℃）、灰色（-80℃至0℃）、红色（-80℃至-20℃）、蓝色（-80℃至+20℃）五档量程选择，支持压力露点积分计算与NPL溯源，并可选配4G/LoRa无线模块、防爆型设计及定制量程服务，**满足航空航天、食品包装、实验室校准及工业4.0场景的湿度检测需求。
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