英国Alphasense二氧化氮传感器NO2-B43F：刻蚀与CVD工序中洁净室NO₂泄漏监测的“安全哨兵”

在半导体制造、光伏等行业的刻蚀与化学气相沉积（CVD）工序中，二氧化氮（NO₂）作为关键工艺气体或副产物，其泄漏可能引发人员中毒、设备腐蚀甚至爆炸等严重后果。洁净室环境对气体浓度控制要求极高，传统监测手段存在响应慢、精度低、抗干扰能力弱等问题。英国Alphasense公司推出的英国Alphasense二氧化氮传感器NO2-B43F，凭借其高灵敏度、快速响应及强环境适应性，成为洁净室NO₂泄漏实时监测的理想选择，为工艺安全与设备保护筑起坚固防线。

ppm级灵敏度与快速响应：精准捕捉微量泄漏

英国Alphasense二氧化氮传感器NO2-B43F传感器采用四电极设计，在2ppm NO₂浓度下灵敏度达nA/ppm级别，配合<80秒的t90反应时间，可实时检测洁净室内ppm级浓度的NO₂泄漏。在刻蚀工序中，若气体管路连接松动或阀门密封失效，传感器可立即捕捉浓度上升趋势，并在10秒内触发报警系统，为人员撤离与设备停机争取关键时间。某半导体企业应用后，泄漏事故响应时间从分钟级缩短至快速，人员暴露风险降低90%。

抗干扰与宽温湿适应性：稳定运行于洁净室极端环境

洁净室内常存在CF₄、C₂F₆等刻蚀气体及SiH₄、NH₃等CVD工艺气体，英国Alphasense二氧化氮传感器NO2-B43F对Cl₂、H₂S等干扰气体的交叉灵敏度均低于阈值（如Cl₂<100ppm、H₂S<-80%），有效避免误报。其工作温度范围覆盖-20°C至40°C，湿度耐受15%~85%，可稳定运行于恒温恒湿的洁净室环境。在南方潮湿地区，传感器仍能保持零点电流波动<25nA（40°C时），确保数据连续可靠。

长寿命与低维护：降低洁净室运维成本

英国Alphasense二氧化氮传感器NO2-B43F传感器年零点漂移等效ppm值低，灵敏度年衰减<20%，质保期24个月，输出信号稳定期远超行业平均水平。配合密封罐存储设计，存储期限达6个月，减少备件更换频率。某光伏企业应用后，洁净室气体监测系统年维护成本降低35%，设备停机时间减少60%。

英国Alphasense二氧化氮传感器NO2-B43F以高性能、强抗干扰性和长寿命，为刻蚀与CVD工序洁净室提供了可靠的NO₂泄漏监测解决方案。其不仅守护了人员与设备安全，更通过降低运维成本，助力半导体、光伏等行业实现高效、绿色生产。在工业智能化转型中，此类传感器将成为洁净室安全管理的核心组件。

1. 型号与类型：
   • 型号：SADP-D
   • 类型：便携式露点仪      
2. 显示与读数：
   • 显示方式：液晶显示器（LCD）
   • 读数单位：°C和°F      
   • 显示内容：4位数字显示露点值      
3. 精度与准确度：
   • 精度：±3°C至±4°C（±5.4°F至±7.2°F）露点      
   • 准确度：经国家物理实验室（NPL）校准      
4. 测量范围：
   • 整体范围：-100°C至+20°C（-148°F至+68°F）      
   • 不同传感器范围：
     • 银色（S）：-100°C至-20°C露点
     • 紫色（P）：-100°C至0°C露点
     • 灰色（G）：-80°C至0°C露点
     • 红色（R）：-80°C至-20°C露点
     • 蓝色（B）：-80°C至+20°C露点
5. 传感器特性：
   • 传感器类型：Shaw超高电容-氧化铝传感器      
   • 自动校准：具有自动校准特性      
   • 重复性：优于±0.5°C露点
6. 操作与环境条件：
   • 操作压力：大气压至-0.3bar
   • 操作湿度：*大95% RH（无凝结）      
   • 操作温度：-20°C至+40°C（-4°F至+104°F）      
   • 存储温度：未明确说明具体范围，但提及有存储温度要求
7. 电源与电池：
   • 电源类型：9V DC，六节“C”型电池
   • 电池寿命：超过150小时连续运转      
8. 物理特性：
   • 尺寸：200mm x 225mm x 278mm（高328mm，头伸出时）
   • 重量：未明确说明
   • 防护等级：IP66/NEMA 4X      
9. 安全与认证：
   • 本质安全认证：ATEX: II 1 G Ex ia IIC T6 Ga，IECEx: Ex ia IIC T6 Ga      
   • 电磁兼容性（EMC）：排放符合EN 61000-6-3:2000，抗扰符合EN 61000-6-1:2001      
10. 配件与保修：
    • 标配配件：干燥剂，头密封盒，密封圈，硅胶润滑脂，电池，2米取样软管，说明书，重型皮革表壳带肩带      
    • 保修期：对工艺缺陷和问题零件有24个月的保修期      
11. 其他特性：
    • 独特的干燥剂头和传感器组件设计，保持传感器干燥      
    • 瞬时读数，反应时间快（潮湿-干燥：-20°C至-60°C < 120s；干燥-潮湿：-100°C至-20°C < 20s）      
    • 样品流速与流量无关，但理想为2-5 L/min，*大25 L/min

英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SADP & SADP-TR是电池操作的便携式露点测量仪，用于抽查或者连续使用，该仪器可以在提供露点温度的直接指示，以及120mm模拟刻度下的百万分之几。
便携式露点仪SADP -D版本执行相同的功能，但是在LED显示中只显示露点。
只要样品气体通过仪器的测试室（头）流动，仪器就可以进行连续读数，并给出气体含水量的读数。在进行抽查时也可以在几分钟之内得到结果。
便携式露点仪SADP 设备使用内部电池，不需要外部电池。这种仪器配有6节“c”大小的电池。在正常的操作中可持续工作超过12个月。
便携式露点仪SADP 独特的测量头设计，使传感器在不使用时保持干燥，使抽查成为一个简单而快速的过程，*少的空气或气体使用。
便携式露点仪SADP 提供的标准配置有一个配有肩带的软垫便携箱，一个对照盘，一个用于自动校准控制的螺丝刀。一把六方扳手，用于装卸电池载体的安全板和两米长的PTFE (Teflon)样品管。便携式露点仪SADP 有多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

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