英国SHAW在线露点仪SuperDew3：工业气体纯度管控的“分子级守门人”

日期：2025-12-06 23:35

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摘要：在电子半导体、激光切割、医疗气体等**工业领域，氮气（N₂）、氧气（O₂）、氩气（Ar）等产品的纯度直接决定下游工艺的成败——即使微量水分（ppmv级）也会导致半导体晶圆氧化、激光镜头腐蚀或医疗呼吸机故障。传统人工取样检测因时效性差、数据离散，难以满足连续化生产对气体纯度的严苛要求。英国SHAW公司英国SHAW在线露点仪SuperDew3在线露点仪凭借其低温测量精度、抗交叉干扰能力及实时数据传输功能，成为出装置气体管道的“纯度监控哨兵”，为高纯气体生产商与终端用户搭建起可信的质量桥梁。 ...

在电子半导体、激光切割、医疗气体等**工业领域，氮气（N₂）、氧气（O₂）、氩气（Ar）等产品的纯度直接决定下游工艺的成败——即使微量水分（ppmv级）也会导致半导体晶圆氧化、激光镜头腐蚀或医疗呼吸机故障。传统人工取样检测因时效性差、数据离散，难以满足连续化生产对气体纯度的严苛要求。英国SHAW公司英国SHAW在线露点仪SuperDew3在线露点仪凭借其低温测量精度、抗交叉干扰能力及实时数据传输功能，成为出装置气体管道的“纯度监控哨兵”，为高纯气体生产商与终端用户搭建起可信的质量桥梁。

一、-80°C至+20°C宽量程覆盖，准确锁定高纯气体“水分红线”

电子级氮气（露点≤-70°C，对应水含量≤0.08 ppmv）、医用氧气（露点≤-65°C）等高纯气体对水分含量近乎“零容忍”。英国SHAW在线露点仪SuperDew3的蓝色（BL）传感器量程（-80°C至+20°C）可覆盖从工业级到电子级的全纯度范围，其0.1 ppmv分辨率与±2°C系统精度，能识别0.01 ppmv级的水分波动。例如，在某12英寸晶圆厂氮气供应系统中，当出装置管道露点从-72°C升至-70°C（对应水含量从0.05 ppmv增至0.08 ppmv）时，英国SHAW在线露点仪SuperDew3在15秒内产生响应，联动DCS系统自动切换至备用干燥塔，避免水分进入光刻机腔体，保障了百亿级设备的运行安全。

二、抗交叉干扰设计，破解多组分气体“测量迷局”

高纯气体管道中常存在微量杂质（如CO₂、烃类），传统露点仪易因交叉敏感导致数据失真。英国SHAW在线露点仪SuperDew3采用**的陶瓷传感器技术与选择性过滤膜，可屏蔽非水分气体的干扰，即使在氧气（含0.1% CO₂）或氩气（含0.05% CH₄）环境中，仍能稳定输出真实露点值。其316不锈钢探头与IP66防护等级设计，支持直接安装于户外管道，耐受-40°C至+60°C极端温度，确保在西北寒区或华南湿热地区的长期可靠运行。

三、实时数据溯源与云端共享，构建质量信任闭环

英国SHAW在线露点仪SuperDew3的校准证书可追溯至NPL国家物理实验室，满足ISO 8573（压缩空气）、ASTM D1142（气体水分）等国际标准要求。通过4G/LoRa无线传输或Modbus协议，设备可将露点数据实时上传至企业ERP系统或第三方云平台，下游用户可通过扫码获取气体批次的质量报告。某气体公司应用后，客户投诉率下降90%，年减少因纯度争议导致的赔偿超200万元，同时通过数据透明化提升了**市场竞争力。

从出装置管道的实时纯度监控到终端用户的可信质量追溯，英国SHAW在线露点仪SuperDew3在线露点仪以技术重塑工业气体行业的“质量信任链”。通过量化水分指标，该设备不仅守护了半导体、医疗等**制造的“生命线”，更助力气体生产商从“合格交付”迈向“价值共生”，在全球化竞争中筑牢质量壁垒。

Superdew 3露点仪的参数丰富且**，其主要参数包括：该露点仪采用单通道在线设计，专门用于测量工艺气体和压缩空气中的露点，配备IP54或IP65等级的面板保护外壳。传感器方面，使用高精度、可重复的Shaw超高电容氧化铝传感器，提供多种量程选择，如紫色传感器量程为-100°C至0°C露点（0-6000ppm(v)），银色传感器为-100°C至-20°C露点（0-1000ppm(v)）等，确保测量范围的广泛覆盖

。仪器整体系统精度优于±2°C（±3.6°F）露点，并配备可追溯至国际标准的校准证书，保证测量的准确性。显示方面，采用五字符LED显示屏，用户可自由选择显示单位为°C、°F、ppm(v)或lbs/MMscf。

此外，Superdew 3还提供两个完全可编程的报警继电器，设置点可通过前面板小键盘轻松查看和调整，并标配一个隔离的4-20mA模拟输出，输出范围可在传感器整个操作范围内配置。

仪器还具备自动校准和现场校准/量程检查功能，确保长期使用的稳定性和准确性。工作温度范围为-20°C至+60°C，储存温度范围为-20°C至+70°C，适应各种恶劣环境。同时，仪器具备快速的响应时间，湿至干转换时间小于120秒，干到湿转换时间小于20秒，确保实时监测的及时性。

在电气性能上，Superdew 3支持90至250V交流电（50/60Hz）或24V直流电供电，并具备良好的电磁兼容性，符合EN 61326:2006标准。

机械方面，工作压力范围从1kPa到35,000kPa，工作湿度*高可达95%RH非冷凝，探头材料采用316不锈钢，确保耐用性和抗腐蚀性。*后，Superdew 3露点仪套装完全根据客户规范配置，包括SUPER-DEW3分析仪、Shaw传感器、传感器支架和两米传感器电缆，并提供一年的工艺和零件缺陷质保期。

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