高纯气体生产的“水分防线”——英国Shaw露点变送器SDT-EX守护气体纯度

在半导体制造、激光切割、电子特气等**工业领域，高纯度气体（如氮气、氧气、氩气）的纯度直接决定了产品良率与设备寿命。其中，水分作为必须严格控制的杂质，其含量需低至ppm（十亿分之一）级别。一旦超标，轻则导致半导体晶圆表面氧化、激光器镜片污染，重则引发钢瓶内壁腐蚀，造成气体泄漏风险。英国Shaw露点变送器SDT-EX凭借其超高准确度与可靠性，成为高纯气体生产中“水分控制”的核心设备，为气体质量筑起较后一道防线。

水分危害：高纯气体生产的“致命隐患”

高纯气体对水分极其敏感。以半导体行业为例，气体中若含水量超过1ppm，可能在晶圆表面形成水膜，导致光刻胶附着不均或金属层氧化，直接造成产品报废。而在特种气体领域，水分会与钢瓶内壁发生化学反应，生成氢气或腐蚀性物质，不仅缩短钢瓶使用寿命，更可能引发泄漏等安全事故。因此，国际标准（如SEMI E499）明确要求：高纯气体充装前需将露点温度控制在-70℃以下（对应水分含量＜0.1ppm）。

英国Shaw露点变送器SDT-EX：ppm级监测的“精密哨兵”

英国Shaw露点变送器SDT-EX采用氧化铝电容式传感器，专为低露点监测设计，其核心性能包括：

1. 超高准确度：量程0.1-10ppm，精度±2℃，重复性优于±0.3℃，可准确捕捉ppm级水分变化；

2. 快速响应：T90响应时间＜20秒（干燥→潮湿），确保实时反馈气体纯度波动；

3. 本质安全：通过ATEX/IECEx防爆认证，适用于纯化设备后及充装管线的危险区域；

4. 宽压力适配：支持1kPa至350bar操作压力，兼容从低压纯化到高压充装的全流程。

应用场景：从纯化到充装的“全程守护”

在高纯气体生产中，SDT-EX变送器通常部署于两个关键位置：

1. 纯化设备出口：实时监测吸附剂或膜分离器的脱水效果，若露点超标，立即触发报警并启动再生程序；

2. 充装管线：在气体充入钢瓶前进行较终检测，确保每瓶气体均符合标准。某半导体厂商实践显示，部署SDT-EX后，气体产品水分合格率从98%提升至99.99%，年因水分导致的客诉减少90%。

以“精细的”精度定义气体质量

在高纯气体行业，水分控制已从“工艺要求”升级为“生存法则”。英国Shaw露点变送器SDT-EX以ppm级的监测能力与工业级的稳定性，为气体生产商提供了从纯化到充装的“全链条质量保障”。无论是半导体制造的“洁净需求”，还是特种气体安全的“底线要求”，SDT-EX都是值得信赖的“纯度守护者”。

1. 产品概述：

• 产品型号与用途：SDT-Ex是一款3线4-20毫安回路供电的露点变送器，用于连续测量工艺气体或压缩空气中的水分含量。 
• 主要特点：采用超高电容肖氏传感元件，具有高灵敏度、重复性和快速响应速度；具备自动校准功能，保证测量准确度达到±2°C露点；RISC微处理器电路提供高分辨率和先进的故障自诊断功能。 

2. 气体相容性：
   • 适用气体：SDT-Ex型传感元件适用于多种工业和研究应用，但需避免使用氨（NH3）、氯（Cl2）等不兼容气体。 
   • 特殊气体处理：对于六氟化硫（SF6），需先进行酸性测试，确认无酸性后再进行水分测试。 
3. 安装步骤：
   • 安装前准备：检查包装是否完好，确认收到所有订购的组件（SDT Ex变送器、连接电缆、传感器支架、说明书、压力露点循环计算器）。 
   • 管道安装示意图：提供了气体测量应用中可能使用的所有部件示意图，但并非每次安装都需要所有部件。 
   • 具体安装步骤：包括取样回路初始净化、变送器支架安装、电缆接头固定、阀门操作及压力流量设置等。 
4. 操作方法：
   • 正常运行模式：在4-20mA模式下，变送器产生与被监测气体中水分水平成比例的信号，每秒采样并更新湿度读数。 
   • 自动校准功能：允许用户通过检查变送器量程和纠正偏差来确保测量准确性，建议每两到三个月运行一次。 
   • 自动校准步骤：包括发射机预调节、调整自动、完成自动等步骤，详细描述了如何通过电位计进行校准调整。
5. 技术规格：
   • 输出信号与工作电压：4-20mA线性输出，工作电压7V至28V直流反极性保护。 
   • 准确度与分辨率：准确度达到±2°C露点，分辨率优于±0.3°C露点。 
   • 工作环境条件：工作温度范围-20°C至+60°C，贮存温度范围-20°C至+70°C，*大工作压力35000kPa。 
6. 维护与保养：
   • 保修条款：自购买之日起壹年保修，部分情况除外（如传感器保护罩被取下、置于不兼容气体中、干扰内部电子设备等）。
   • 故障处理：提供了传感器短路和开路时的故障输出信号（恒定20.75毫安和20.50毫安输出）。 
7. 附录与连接图：
   • 提供了SDT Ex和PR5104BB2A信号隔离器的连接图、PR5104BB2A到SDT-EX的连接图、SDT-EX带连接器的总布置图及变送器支架总布置图等附录信息。 

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