英国SHAW便携式露点仪SADP：超纯气体检测的“精密卫士”

在半导体制造、液晶面板生产等高精尖领域，超纯气体（如氮气、氩气）中的微量水分堪称“隐形杀手”——仅0.1ppm的水分就可能导致芯片氧化、光刻胶失效或晶圆表面污染，直接引发良率损失与巨额经济损失。作为全球湿度检测领域的标杆品pai，英国SHAW露点仪是世界露点仪知.名品pai，其英国SHAW便携式露点仪SADP系列便携式露点仪凭借ppb级检测精度、抗污染设计与智能化功能，成为超纯气体监测的核心工具，为半导体产业筑起一道“零缺陷”防线。

核心技术：ppb级检测的“分子级”精度

英国SHAW便携式露点仪SADP系列采用氧化铝镀金电容传感器，可实现-100℃至+20℃的宽量程露点检测，在超纯气体环境中（如氮气露点-80℃以下）的检测精度达±0.5℃，重复性优于±0.2℃，相当于水分浓度低至0.01ppm（ppb级）。其传感器表面镀金层可抑制气体中微量杂质（如油雾、颗粒物）的吸附，避免传统铝电极因污染导致的测量漂移。某12英寸晶圆厂通过英国SHAW便携式露点仪SADP监测光刻机供气系统，成功捕捉到露点从-85℃升至-82℃的微小波动，提前更换分子筛吸附剂，避免因水分超标导致的光刻胶分层问题，年节约返工成本超500万元。

抗污染设计：ji端环境的“稳定之锚”

超纯气体管道常伴随腐蚀性残留物或微粒，对检测设备的耐用性提出严苛挑战。英国SHAW便携式露点仪SADP系列通过三大创新设计实现“零维护”运行：

1. 双通道干燥系统：内置分子筛与硅胶复合干燥模块，可连续吸附气体中的微量水分与挥发性有机物（VOCs），确保传感器长期处于干燥环境；

2. 全金属流路：采用316L不锈钢与哈氏合金C-276材质，耐受氯气、氟化氢等腐蚀性气体，避免塑料流路因气体渗透导致的交叉污染；

3. 自清洁功能：通过反向吹扫与加热再生程序，自动**传感器表面沉积物，延长校准周期至12个月。某存储芯片厂商在蚀刻工艺供气系统中部署英国SHAW便携式露点仪SADP后，设备故障率下降90%，校准频次从每月1次降至每年1次。

行业实践：从实验室到产线的全场景覆盖

英国SHAW便携式露点仪SADP的便携性与数据追溯功能使其成为半导体产业全流程湿度控制的“**”：

· 气瓶充装监测：随时检测高纯氮气/氩气气瓶露点，确保符合SEMI C10标准（露点≤-76℃）；

· 管道泄漏定位：通过移动式检测快速定位阀门、接头处的微量水分渗透点，缩短停机维修时间；

· 工艺气体验证：在光刻、沉积等关键工序前，验证供气露点是否满足工艺窗口（如EUV光刻需露点≤-90℃），避免因湿度超标导致的图案塌陷。

某逻辑芯片制造商引入英国SHAW便携式露点仪SADP后，实现三大突破：

· 良率提升：将因水分导致的氧化缺陷率从0.3%降至0.02%，单线年增产芯片超10万片；

· 能耗优化：通过准确监测干燥机出口露点，减少再生气体消耗30%，年节电200万度；

· 合规保障：满足ISO 14644-1 Class 1级洁净室标准，通过三星、英特尔等客户审计。

从ppb级检测到全流程管控，英国SHAW便携式露点仪SADP正以“分子级”精度重新定义超纯气体监测标准。其不仅是半导体产业的“湿度守门人”，更是推动全球芯片制造向5nm及以下节点突破的关键技术支撑。

英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SADP & SADP-TR是电池操作的便携式露点测量仪，用于抽查或者连续使用，该仪器可以在提供露点温度的直接指示，以及120mm模拟刻度下的百万分之几。
便携式露点仪SADP -D版本执行相同的功能，但是在LED显示中只显示露点。
只要样品气体通过仪器的测试室（头）流动，仪器就可以进行连续读数，并给出气体含水量的读数。在进行抽查时也可以在几分钟之内得到结果。
便携式露点仪SADP 设备使用内部电池，不需要外部电池。这种仪器配有6节“c”大小的电池。在正常的操作中可持续工作超过12个月。
便携式露点仪SADP 独特的测量头设计，使传感器在不使用时保持干燥，使抽查成为一个简单而快速的过程，*少的空气或气体使用。
便携式露点仪SADP 提供的标准配置有一个配有肩带的软垫便携箱，一个对照盘，一个用于自动校准控制的螺丝刀。一把六方扳手，用于装卸电池载体的安全板和两米长的PTFE (Teflon)样品管。便携式露点仪SADP 有多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

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