英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX：超净车间晶圆生产的“湿度防线”

在半导体制造的“纳米战场”上，超净车间压缩空气的干燥度直接决定着晶圆良率与设备寿命。当露点温度高于-70℃时，空气中的水蒸气会在晶圆表面冷凝，引发氧化、金属腐蚀甚至光刻胶失效，导致良品率骤降。作为世界露点仪领.先品牌，英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX与在线式设备形成“动态监测+准确校准”的闭环系统，为芯片制造筑起一道“分子级湿度防线”。

露点失控：半导体生产的“隐形killer”

半导体制造对压缩空气露点的要求近乎苛刻：ISO 8573-1标准规定，超净车间压缩空气露点需≤-70℃（对应含水量≤0.001g/m³）。若水分超标，将引发三大灾难：

1. 晶圆氧化：水分子与硅基材料反应生成氧化层，导致光刻图案模糊，良品率下降5%-10%；

2. 设备腐蚀：湿气加速气动阀门、真空泵等金属部件锈蚀，维修成本激增300%；

3. 工艺失效：在刻蚀、沉积等精密工序中，水分污染工艺气体，导致反应速率异常，产品性能波动。
某头部晶圆厂曾因干燥机故障导致压缩空气露点升至-60℃，短短2小时内，12台光刻机因晶圆表面结露停机，直接损失超2000万元。

双剑合璧：在线+便携构建监测闭环

英国SHAW的解决方案通过“在线式设备实时监控+便携式仪器准确校准”实现双重保障：

1. 在线式露点仪：部署于压缩空气主管道，24小时连续监测露点变化，数据实时上传至MES系统。当露点接近-70℃阈值时，自动触发干燥机再生程序，避免人工干预延迟。

2. 英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX：采用氧化铝电容传感器，量程覆盖-100℃至+20℃，精度达±2℃，响应时间<0.5秒。技术人员可携带其对分支管路、设备末端进行抽检，验证在线仪表准确性，消除监测盲区。

实战成效：从“被动救火”到“主动防御”

某12英寸晶圆厂引入英国SHAW双模式监测系统后，实现三大突破：

· 露点稳定性：压缩空气露点长期稳定在-75℃以下，波动范围±1℃；

· 良品率提升：晶圆氧化缺陷率从0.8%降至0.15%，年节约返工成本超1500万元；

· 设备寿命延长：气动部件更换周期从1年延长至3年，维护成本下降65%。

技术突破：jun工级防护与智能诊断

英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX的核心优势在于：

· 极地级耐用性：IP65防护等级搭配316L不锈钢机身，可耐受盐雾腐蚀、-50℃极寒与12级飓风；

· 智能自诊断：内置加热探头与算法，当环境温度低于-20℃时自动启动防冻模式；

· 数据追溯：支持蓝牙传输与云端管理，生成湿度变化曲线，助力工艺优化。

在芯片制造向5nm、3nm制程迈进的今天，每一缕压缩空气的干燥度都关乎产业命脉。英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX与在线设备的协同作战，正以“分子级精度”重新定义半导体生产的湿度控制标准——在这里，0.001g/m³的水分差异，决定着数千万元的良品率，更承载着中国“芯”突破技术封锁的雄心。

 英国肖氏SHAW已经有70多年的历史，在露点仪行业属于经典老品牌，露点仪主流品牌。便携式露点仪SDHmini-Ex是一款本安型微控制器电池供电的露点仪，具有先进的功能和增强功能，支持USB和蓝牙接口，可与PC通信，并支持蓝牙热敏打印机。
便携式露点仪SDHmini-Ex是是一个完全独立的单元，包括湿度传感器，信号调理电路，内存管理，图形显示，薄膜键盘，实时时钟，板载电池和充电器电路。英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX守护元件防潮防线
便携式露点仪SDHmini-Ex是图形用户界面具有三个主要的查看屏幕，数字，图形（滚动条形图中的历史读数）和仪表（传统的动圈）。右上方还有一个辅助显示屏，可以显示其他测量单位的读数。
便携式露点仪SDHmini-Ex是使用以下10种语言选项：英语，德语，法语，西班牙语，葡萄牙语，俄语，意大利语，中文，日语和韩语。
便携式露点仪SDHmini-Ex是全彩图形LCD显示屏，320 x 240分辨率风景和6键输入，包括开/关键。
对于可选择的湿度单元，可以在主显示器和辅助显示器上更改显示的单位，例如°C，°F，g / m3，ppm（v），ppm（w）和lbs / MMscf。
SDHMini Ex设置可以通过用户友好的软件界面进行调整，该界面包含多个菜单、热键组合、信息显示和控制功能。
使用提供的USB电缆，连接在电脑和仪器之间，通过USB建立自动连接。
USB端口允许：
●连接到PC或专用电源时，对电池（锂离子）充电（**安全区域）
●将新固件下载至装置
●从专用PC软件下载设置数据
●从机组下载记录的数据文件和实时数据，便携式露点仪SDHmini-Ex多种测量范围可选，用户可根据需求选择。

更多英国SHAW便携式露点仪SDHmini-EX：超净车间晶圆生产的“湿度防线”

、SWS-SD3在线露点仪、便携式露点仪SADP露点仪、防爆SDT-EX露点仪变送器、露点仪变送器Acudew-P、在线露点仪Superdew3、   

在线露点仪Superdew3｜肖氏露点传感器|露点仪厂家｜｜露点仪批发|在线露点仪｜｜压缩冷镜露点仪DewMaster|Mocon透氧仪|膜康透湿仪|PBI顶空分析仪|空气露点仪COM.AIR||露点仪变送器SDT-EX|在线露点仪| |｜|肖氏露点仪|膜康透湿仪|｜顶空分析仪|药品残氧仪|｜露点仪品牌|冷镜露点仪DewTrace｜｜肖氏露点仪|露点仪价格｜在线露点仪｜｜压缩空气露点仪|SADP露点仪||压缩空气露点仪｜便携式露点仪SDHmini-Ex｜｜冷镜露点仪DewTrak II｜