超纯守护者——英国肖氏SHAW进口Superdew 3在线露点仪筑牢稀有气体质量生命线

在半导体芯片制造、**LED照明等**领域，氩气、氖气等稀有气体的纯度直接决定着产品良率与设备寿命。然而，即便是百万分之**的水分污染，也可能引发灾难性后果：水汽与气体中的微量杂质反应生成氢氟酸等腐蚀性物质，不仅会侵蚀价值数千万的精密设备，更可能导致整批次光刻胶报废，造成数百万元直接损失。英国肖氏SHAW推出的英国肖氏SHAW进口Superdew 3在线露点仪在线露点仪，凭借其-100℃至+20℃的宽量程检测能力与ppb级水分敏感度，成为稀有气体提纯工艺中不可或缺的“质量防火墙”。

微水之患：高纯气体的“隐形杀手”

稀有气体提纯需经过低温精馏、吸附分离等多道工序，但若分离塔出口气体露点未达-75℃以下，残留的水分将与二氧化碳、碳氢化合物等杂质发生催化反应，生成具有强腐蚀性的酸性物质。某LED企业空分装置曾因未部署在线露点监测，导致氩气中混入微量氢氟酸，污染了价值200万元的极紫外光刻胶，造成整条生产线停摆15天。更严峻的是，酸性气体在低温环境下会加速设备金属材料的晶间腐蚀，某半导体厂因长期未检测到氖气中的水分超标，导致价值3000万元的离子注入机真空腔体穿孔报废。

英国肖氏SHAW进口Superdew 3在线露点仪：水分“透视眼”

英国肖氏SHAW进口英国肖氏SHAW进口Superdew 3在线露点仪采用氧化铝电容传感器，可实时检测稀有气体中ppb级水分含量，响应时间缩短至8秒，测量精度达±2℃。其独特的抗交叉干扰设计，能有效排除烃类、二氧化碳等背景气体的影响，确保数据真实性。在某12英寸晶圆厂氩气提纯系统中，该仪器检测到分离塔出口露点波动至-72℃（接近工艺阈值-75℃），系统立即启动应急排空程序，避免了一起价值500万元的质量事故。

智能防控：从被动应对到主动预警

英国肖氏SHAW进口Superdew 3在线露点仪支持多级报警阈值设置，可与DCS、PLC系统无缝集成。当气体露点接近安全限值时，系统自动触发分子筛再生程序或调整精馏塔参数；若超标则立即切断供气管道并排空缓冲罐。某LED外延片生产企业引入该技术后，产品合格率从92%提升至100%，年减少因气体污染导致的废片损失超800万元，同时设备维护周期延长40%。

从纳米级芯片到微米级LED发光层，稀有气体的纯度是支撑现代电子信息产业发展的基石。英国肖氏SHAW进口Superdew 3在线露点仪以**的检测精度与智能防控能力，为高纯气体生产构筑起一道坚不可摧的质量屏障，助力中国制造向**化、精密化跃迁。

本款露点仪配备经ATEX认证的IP66级防爆外壳，适用于爆炸性气体环境。核心参数与功能如下：

显示与单位
支持摄氏度（℃）、华氏度（℉）、ppm(v)、lb/MMSCF四种单位切换，配备带背光的大型数字显示屏，数据清晰可读。

测量精度
露点测量准确度为±2℃（±3.6℉）。

校准功能
内置“自动校准”功能，支持一键操作完成校准。

信号输出
提供线性隔离4-20mA信号输出，量程可根据需求在-100℃至+20℃范围内调整。

电源输入
支持90V至250V AC通用输入，可选配24V DC直流供电版本。

报警功能
配备双报警通道，报警设定值可通过前面板直接查看与调整。

传感器选项
提供五种可互换露点传感器，型号与量程对应如下：

• 紫色传感器：-100℃至0℃
• 银色传感器：-100℃至-20℃
• 灰色传感器：-80℃至0℃
• 红色传感器：-80℃至-20℃
• 蓝色传感器：-80℃至+20℃

其他特性

• 整机及传感器享1年保修服务
• 附校准证书（可追溯至国家/国际湿度标准）

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