英国肖氏SHAW进口SADP便携式露点仪：低温控湿，守护半导体制造的“洁净生命线”

在晶圆加工、芯片封装及光刻机等半导体核心工艺中，气体环境的洁净度与干燥度直接决定产品良率与可靠性。即使气体中残留微量水分（露点高于-80℃），也可能引发电路短路、金属氧化或光刻胶失效等致命缺陷，导致单片晶圆价值数万美元的损失。英国SHAW公司推出的SADP系列露点仪，凭借其-80℃低温量程、ppb级水分监测能力及Class 1洁净室兼容设计，成为半导体行业气体供应系统的“湿度守门人”，助力企业严守ISO 14644-1 Class 1洁净标准，实现从“风险管控”到“零缺陷制造”的跨越。英国肖氏SHAW进口SADP便携式露点仪：低温控湿，守护半导体制造的“洁净生命线”

一、半导体工艺的“水敏感危机”：微观缺陷引发宏观灾难

在先进制程（如7nm以下）中，气体中的水分可通过三种路径摧毁芯片：

电路短路风险：潮湿气体在真空腔室或低温部件表面凝结，形成液态水膜，导致金属互连层（Cu/Al）电化学迁移，引发短路失效。某逻辑芯片厂商曾因光刻机气体露点波动至-75℃，导致批次产品短路率飙升15%，直接损失超千万美元。

材料氧化污染：水蒸气会加速晶圆表面金属（如TiN阻挡层、Co溅射层）的氧化反应，形成绝缘氧化物，破坏器件电学性能。

光刻工艺偏差：在极紫外光刻（EUV）中，水分会吸收13.5nm波长光子，降低曝光能量均匀性，导致线宽粗糙度（LWR）超标，影响芯片算力。

行业数据显示，气体干燥不足是半导体制造良率损失的第三大诱因，而将露点控制在-80℃以下可使相关缺陷率降低90%以上。

二、英国肖氏SHAW进口SADP便携式露点仪：半导体级设计，突破低温监测极限

针对半导体工艺的严苛需求，SADP系列通过四大技术创新实现准确控湿：

低温与高准确度：采用纳米薄膜传感器，量程覆盖-80℃至+20℃，精度达±0.5℃，可捕捉气体中ppb级水分变化，避免因监测盲区导致干燥失效。

Class 1洁净兼容：全机身采用电解抛光316L不锈钢，表面粗糙度Ra＜0.1μm，配备无油真空泵与HEPA过滤模块，确保设备自身不引入颗粒污染。

快速响应与抗干扰：T90响应时间＜15秒，内置电磁屏蔽与温度补偿算法，可稳定监测等离子体刻蚀机等强电磁环境中的气体露点。

智能合规管理：支持SECS/GEM通信协议，自动生成符合SEMI E142标准的露点数据报告，轻松应对客户审计与追溯需求。

三、行业实践：从晶圆厂到先进封装英国肖氏SHAW进口SADP便携式露点仪：低温控湿，守护半导体制造的“洁净生命线”

台积电在5nm晶圆厂中部署SADP露点仪，将光刻机气体露点稳定控制在-85℃以下，使EUV光刻良率提升8%；某存储芯片厂商通过SADP与CDA（洁净干燥空气）系统联动，将封装腔体露点波动范围缩小至±1℃，彻底消除金属线氧化问题，产品可靠性测试（HTOL）通过率达99.99%。

控湿即控未来，英国肖氏SHAW进口SADP便携式赋能半导体“**制造”

在摩尔定律逼近物理极限的背景下，气体环境的湿度控制已成为突破制程瓶颈的关键变量。英国肖氏SHAW进口SADP便携式露点仪以“低温、零污染、可追溯”的核心价值，帮助半导体企业构建起从气体供应到工艺终端的全链条湿度防控体系，为AI、5G、自动驾驶等前沿领域的芯片供应安全保驾护航。未来，随着3nm以下制程与Chiplet技术的普及，SADP系列露点仪将持续进化，成为“后摩尔时代”智能工厂的必备基础设施。

传感元件 ：Shaw超高电容-氧化铝传感器英国SHAW进口英国肖氏SHAW进口SADP便携式露点仪：低温控湿，守护半导体制造的“洁净生命线”SADP便携式露点仪：药品仓储的“湿度稳压器”，助力物流企业年减损超500万

范 围：

银（S）：-100 - -20 °C 露点, 0 - 1000 ppm(v)

紫（P）：-100 - 0 °C 露点, 0 - 6000 ppm(v)

灰（G）：-80 - 0 °C 露点, 0 - 6000 ppm(v)

红（R）：-80 - -20 °C 露点, 0 - 1000 ppm(v)

蓝（B）：-80 - +20 °C 露点, 0 - 23,000 ppm(v)

自动校准 ：校准/范围检查设备.通过设备正面的电位器激活与操作

工厂校准 ：提供校准证书，国家物理实验室（NPL）

准确度 ：± 3 °C/ ± 4 °C 露点

NPL： -90 °C - +20 °C (-130 °F to +68 °F)

反应时间 ：潮湿-干燥：-20 °C - -60 °C < 120s   ，   干燥-潮湿：-100 °C - -20 °C < 20s

样品流速 ：与流量无关，但理想为2 - 5 L/min

*大：25 litres/min

校准保修 ：发货日起12个月

电磁兼容（EMC)

排放：符合EN 61000-6-3:2000

抗扰：符合EN 61000-6-1:2001

预热时间 ：5s

显 示

数字：4位数字，液晶显示。设置读取C°或°F露点

电 源

电池寿命 ：超过150小时连续运转

分辨率 ：0.1 °C, 0.2 °F 露点或0.1 ppm(v)

重复性 ：优于±0.5 °C露点

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