英国SHAW进口SDH-mini便携式露点仪半导体超纯气体湿度的“优异守卫者”
半导体制造是现代科技的核心产业，其工艺准确度已进入优异时代。在晶圆生产过程中，氮气、氩气等超纯气体作为“保护气”或“载气”，其水分含量必须严格控制在ppb级（十亿分之一），否则微量的水蒸气会引发晶圆表面氧化、颗粒污染，甚至腐蚀设备中的不锈钢部件，导致良率暴跌和巨额损失。英国SHAW进口便携式露点仪英国SHAW进口SDH-mini便携式露点仪凭借其高准确、超快响应和抗干扰能力，成为半导体行业超纯气体湿度监测利器，为优异工艺提供“零风险”保障。
超纯气体的“水分禁区”：ppb级控制的生死线
半导体工艺对气体纯度的要求近乎苛刻。以化学气相沉积（CVD）为例，氮气作为载气需将前驱体材料均匀输送至晶圆表面，若气体中水分含量超过10ppb，水分子会与硅烷等前驱体反应，生成二氧化硅颗粒，导致晶圆表面出现“雾状缺陷”，直接报废率可达30%以上。更严重的是，水蒸气会加速设备中不锈钢管道的应力腐蚀开裂（SCC），某12英寸晶圆厂曾因气体露点失控，导致价值千万美元的CVD设备在3个月内频繁故障，维修成本超500万元。
英国SHAW进口SDH-mini便携式露点仪：ppb级监测的“技术**”
英国SHAW进口SDH-mini便携式露点仪专为超纯气体设计，其核心性能突破行业极限：
· 优异准确度：采用氧化铝电容传感器，露点测量范围-100℃至+20℃，对应水分含量覆盖0.001ppb至1000ppm，可准确捕捉1ppb级别的湿度波动；
· 光速响应：响应时间≤1秒，远超传统露点仪的30秒，实现“实时监测-即时预警”；
· 抗污染设计：传感器表面镀有疏水涂层，可抵御超纯气体中微量颗粒物的附着，确保长期稳定性；
· 便携与耐用：全金属机身，IP65防护等级，适应半导体洁净室的无尘环境。
在CVD工艺中，英国SHAW进口SDH-mini便携式露点仪被部署于气体纯化器出口和工艺腔体入口。若监测到露点突然从-80℃升至-60℃（对应水分含量从0.1ppb升至1ppb），系统会立即触发警报，提示纯化器吸附剂饱和或阀门泄漏，操作人员可迅速停机更换滤芯，避免批量性晶圆污染。某存储芯片厂商通过英国SHAW进口SDH-mini便携式露点仪实现气体露点24小时在线巡检，将工艺缺陷率从0.5%降至0.02%，年节省良品损失超2000万元。
在半导体制造的“纳米战场”，英国SHAW进口SDH-mini便携式露点仪以“ppb级准确度、1秒响应”的技术优势，为超纯气体质量筑起*后一道防线。它不仅是监测工具，更是保障工艺稳定、设备安全、良率提升的“战略级装备”。
传感原件
肖氏超高电容氧化铝传感器
范围
露点 = 0.1℃分辨率
（紫色）： -100 - 0℃露点，0-6,000ppm(v)
（银色）： -100 - -20℃露点，0-1,000ppm(v)
（灰色）： -80 - 0℃露点，0-6,000ppm(v)
（红色）： -80 - -20℃露点，0-1,000ppm(v)
自动校准
场校准/电子跨度检查装置
通过简单的菜单指示进行
操作
准确度
±2℃露点
NPL追踪：-90℃ - +20℃
传感器校准
提供校准证书，可通过国家
和国际标准查询
压力校准
积分计算器显示压力露点.
压力表：kPa、kg/cm2、bar
或psi
温度系数
操作范围的温度补偿
重复性
优于±0.3℃露点
反应时间
潮湿至干燥：-10℃ - -60℃，<120s
干燥至潮湿：-100℃ - -20℃，<20s
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