美国冷镜露点仪DewTech 390：低压环境下的“真空猎手”，精准捕捉气体中的“隐形水分”

在半导体制造、真空镀膜、航天推进剂研发等领域，低压环境（通常低于100 kPa）下气体中极低含水量（亚PPM级）的检测是保障工艺稳定性的核心挑战。美国EdgeTech公司推出的实验室级冷镜露点仪美国冷镜露点仪DewTech 390，凭借其-90°C至+20°C的极宽测量范围、±0.1°C的超高精度以及0-10 kPa至常压的全量程兼容性，成为低压环境下极低含水量气体检测的“**武器”。美国冷镜露点仪DewTech 390

低压环境的技术攻坚：冷镜原理的“真空适配”

在低压条件下，气体分子密度降低，水汽分压随之锐减，传统传感器易因信号微弱或噪声干扰导致测量失效。美国冷镜露点仪DewTech 390采用三级珀尔帖冷却冷镜传感器，通过纳米级镜面温度控制与高灵敏度光学检测系统，即使在1 kPa的极端低压下，仍能精准捕捉镜面结霜的临界点。例如，在半导体真空腔室中，该设备可检测10⁻⁶ mbar压力下氢气中0.05 PPMv的水分含量，避免晶圆表面因微量吸附水导致镀膜缺陷。美国冷镜露点仪DewTech 390

抗干扰设计：真空兼容与智能补偿的双重保障

低压环境常伴随气体流速波动、温度梯度及微量污染物，美国冷镜露点仪DewTech 390通过三大创新设计实现稳定检测：

1. 真空适配采样系统：采用316L不锈钢材质与VCR®金属密封接口，支持UHV（超高真空）环境直接取样，避免传统橡胶密封件的挥发污染；

2. 动态压力补偿算法：内置压力传感器实时修正水汽分压，确保露点数据自动转换为PPMv单位，消除低压对测量结果的放大效应；

3. ABC自清洁系统：每8小时启动镜面加热-冷却循环，**吸附的有机物或颗粒物，在某航天研究院的长期测试中，设备在5 kPa压力下连续运行300天无漂移。

行业标杆：从实验室到真空产线的全场景覆盖

美国冷镜露点仪DewTech 390提供台式、便携式及模块化集成三种配置，可嵌入手套箱、真空镀膜机或航天推进剂储罐。其0-5 Vdc、4-20 mA及RS-485多协议输出支持与PLC、LabVIEW系统无缝对接，实现低压气体水分的实时监控与闭环控制。在光伏行业，隆基绿能采用该设备检测硅烷气体湿度，将低压环境下的测量误差控制在±0.15°C以内，单晶硅片良率提升2.1%。美国冷镜露点仪DewTech 390

全球认证：计量级精度的“信任背书”

美国冷镜露点仪DewTech 390的制造与校准体系通过ISO 9001:2015和ISO/IEC 17025:2017双重认证，并附带NIST可追溯性证书。其技术参数被写入SEMI标准（半导体设备与材料国际标准），成为全球真空行业湿度检测的基准设备。美国冷镜露点仪DewTech 390

在追求“绝对干燥”的低压世界中，美国冷镜露点仪DewTech 390以冷镜物理原理的**可靠性，为半导体、航天及新能源等领域筑起一道质量防线。它不仅是仪器，更是开启真空技术新纪元的“水分密钥”。美国冷镜露点仪DewTech 390

美国冷镜露点仪DewTech 390

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